[发明专利]无损剥离柔性基板的方法有效

专利信息
申请号: 201610747186.6 申请日: 2016-08-26
公开(公告)号: CN106098940B 公开(公告)日: 2019-09-06
发明(设计)人: 王选芸 申请(专利权)人: 武汉华星光电技术有限公司
主分类号: H01L51/00 分类号: H01L51/00;H01L51/56
代理公司: 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 代理人: 孙伟峰;武岑飞
地址: 430070 湖北省武汉市*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 发明公开了一种无损剥离柔性基板的方法,其包括步骤:在玻璃基底表面上依次设置剥离层、柔性基板;将所述玻璃基底、所述剥离层、所述柔性基板在液态溶剂中浸润;其中,所述剥离层完全溶解于所述液态溶剂,所述柔性基板不溶于所述液态溶剂,以实现所述玻璃基底与所述柔性基板的剥离。本发明通过选择与柔性基板的材料溶解性能不同的材料,例如聚乙烯醇作为柔性基板的剥离层材料,其与水之间形成强烈的氢键,能与水完全互溶;而柔性基板为非亲水性物质,与水不能互溶。如此,利用高分子聚合物之间的物性差异,在器件封装完成后,将整个基板通过水洗或与水浸润,实现柔性基板与玻璃基底之间发生分离。
搜索关键词: 无损 剥离 柔性 方法
【主权项】:
1.一种无损剥离柔性基板的方法,其特征在于,包括如下步骤:在玻璃基底表面上依次设置剥离层、柔性基板;将所述玻璃基底、所述剥离层、所述柔性基板在液态溶剂中浸润;其中,所述剥离层完全溶解于所述液态溶剂,所述柔性基板不溶于所述液态溶剂,以实现所述玻璃基底与所述柔性基板的剥离。
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