[发明专利]用于带电粒子显微镜的低温样本的制备有效
申请号: | 201610729505.0 | 申请日: | 2016-08-26 |
公开(公告)号: | CN106872500B | 公开(公告)日: | 2019-02-22 |
发明(设计)人: | H-W.雷米格伊 | 申请(专利权)人: | FEI公司 |
主分类号: | G01N23/2202 | 分类号: | G01N23/2202 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 周学斌;张涛 |
地址: | 美国俄*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 本发明涉及用于带电粒子显微镜的低温样本的制备。一种为带电粒子显微镜中的研究制备样本的方法,由此该样本经受使用致冷剂的快速冷却,包括下面的步骤:‑提供用于输送低温流体的两个导管,这些导管中的每一个都打开进入管口,这些管口被布置成跨介于中间的间隙而面对彼此;‑将样本放置在所述间隙中;‑通过所述导管泵送低温流体以便从所述管口同时冲刷,由此从两个相对面将样本突然浸入在低温流体中。 | ||
搜索关键词: | 用于 带电 粒子 显微镜 低温 样本 制备 | ||
【主权项】:
1.一种为带电粒子显微镜中的研究制备样本的方法,由此该样本经受使用致冷剂的快速冷却,该方法包括:‑提供用于输送低温流体的两个导管,这些导管中的每一个都打开进入管口,这些管口被布置成跨介于中间的间隙而面对彼此;‑将样本放置在所述间隙中;以及‑通过所述导管泵送低温流体以便从所述管口同时冲刷,由此从两个相对面将样本突然浸入在低温流体中。
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