[发明专利]一种光刻机智能控制系统在审
| 申请号： | 201610714050.5 | 申请日： | 2016-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN107783375A | 公开（公告）日： | 2018-03-09 |
| 发明（设计）人： | 郭琳 | 申请（专利权）人： | 郭琳 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 110179 辽宁省沈阳市浑*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 一种光刻机智能控制系统，该设备由平板工控机、图像采集卡和运动控制板卡构成，通过USB和串口进行通信。其中平板工控机以嵌入式处理器S3C2440作为核心，图像采集卡以FPGA芯片EP2C8Q208C8为核心,运动控制板卡以单片机AT89C52为核心。运行时，图像采集卡首先对视频图像进行预处理，接着将其传输至平板工控机进行数据处理和显示，用户通过控制终端进行操作，最后由运动控制卡完成相应的动作。该设备将现在流行的平板电脑技术与光刻机相结合，实现了光刻机的智能化控制和在线资源共享，使光刻机更加智能化和现代化。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 机智 控制系统 | ||
【主权项】：
一种光刻机智能控制系统，由平板工控机(主控板卡)、数据采集卡和运动控制板卡三个部分组成。
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