[发明专利]一种光刻机智能控制系统

说明书

所属技术领域

本发明涉及一种控制系统，尤其涉及一种光刻机智能控制系统。

背景技术

作为微电子产业的核心，光刻机经历了接近、接触式光刻机，步进重复投影光刻机(stepper)，步进扫描光刻机(scanner)的发展历程，目前已进入双工件台(双硅片台)光刻机时代。光刻机性能的提升也对其自动化和智能化的程度提出了越来越高的要求。为了解决这个问题，大量以PC 机为工控机的光刻机被使用。这种设计在很大程度上提升了光刻机的自动化和智能化程度，但是使用这种设计对光刻机进行控制，存在以下缺点：(1) 鼠标和键盘的控制带来使用上的局限，导致用户体验降低；(2) 功耗大，需使用风扇降温，由此引起的机器振动会增大误差；(3)体积庞大，占用了光刻机有限空间。

三星的S3C2440芯片作为微处理器，该芯片采用ARM920T内核，功耗低，具有高速的处理计算能力。整体设计融合了MMU、AMBA 总线体系结构和哈佛结构，集成了SDRAM 控制器、LCD控制器、串口控制器、USB控制器等。具有独立的16Kb指令Cache和16Kb数据Cache，运行主频为400MHz, 最高可达533MHz。

发明内容

本发明的目的是为了满足光刻机性能的提升对自动化和智能化的程度的高要求，设计了一种光刻机智能控制系统。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是。

光刻机智能控制系统由平板工控机(主控板卡)、数据采集卡和运动控制板卡三个部分组成。

所述的硬件设计采用平板工控机(主控板卡)、数据采集卡和运动控制板卡分离设计的方法。

所述的板卡间的通讯如下：平板工控机与数据采集卡的通讯通过USB实现；平板工控机与数据采集卡的通讯通过串口实现。

所述的平板工控机(主控板卡)的主控芯片采用三星的S3C2440芯片作为微处理器。

所述的系统为主控芯片配置了64M的SDRAM，配置256M的NandFlash来满足对小文件的存储，对大文件存储则需使用SD卡实现。

所述的系统配置8in(1 in=2.54 cm)的触摸屏来满足显示与操作的需要，触摸屏的分辨力为800×600，采用40针FFC软排线与主控制板卡进行连接。

所述的系统专门采用具有一线式精准触控功能的四线电阻屏。

所述的系统外设接口主要包括串口、USB接口、网络模块和音频模块。

所述的运动控制卡采用AT89C52作为处理器，内置电磁阀和步进电机的驱动程序。

所述的运动控制卡中的电磁阀控制模块使用光电耦合器耦合信号，然后通过三极管进行放大，最终驱动电磁阀。

所述的视频采集卡的整个系统包括：FPGA控制模块、CCD 模块、AD 转换模块、USB 模块。本发明的有益效果是。

光刻机智能控制系统具有小型化、低功耗、高速稳定、扩展丰富等优点，符合现代化控制设备的发展方向和趋势。

附图说明

下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。

图1是系统的总体结构框图。

图2是平板工控机的总体结构框图。

图3是运动控制卡的总体结构框图。

图4是视频采集卡的总体结构框图。

具体实施方式

如图1所示，光刻机智能控制系统由平板工控机(主控板卡)、数据采集卡和运动控制板卡三个部分组成。硬件设计采用平板工控机(主控板卡)、数据采集卡和运动控制板卡分离设计的方法。板卡间的通讯如下：平板工控机与数据采集卡的通讯通过USB实现；平板工控机与数据采集卡的通讯通过串口实现。该设计可以保证数据采集，运动控制和操作系统并行运行，有效提高了系统的高效性和实时性。