[发明专利]一种光掩膜宏观多色检查机及其使用方法

摘要

本申请提出了一种光掩膜宏观多色检查机及其使用方法，它涉及光掩膜检测技术领域，尤其涉及一种光掩膜宏观多色检查机及其使用方法。本申请提出了一种光掩膜宏观多色检查机及其使用方法。一种光掩膜宏观多色检查机，它包括主体机构、多色光源和离子气枪；所述的主体机构包括360°旋转轴和360°旋转光掩膜托盘。使用方法：放到支撑体上；将光掩膜移动承载架滑动至360°旋转光掩膜托盘上方；利用真空气阀和气动夹将光掩膜固定；打开多色管状灯源观察；将光掩膜旋转至便于观察位置处，采用多色可移动灯源观察；启动离子气枪进行清洗。优点：达到调整视角的目的。能够及时清理。实现在不同颜色灯光下观察光掩膜表面。提高工作效率。

主权项

一种光掩膜宏观多色检查机，其特征在于，它包括主体机构(1)、多色光源和离子气枪(2)；所述的主体机构(1)包括360°旋转轴(1‑1)和360°旋转光掩膜托盘(1‑2)；所述的360°旋转光掩膜托盘(1‑2)与360°旋转轴(1‑1)连接在一起，且360°旋转光掩膜托盘(1‑2)能够随360°旋转轴(1‑1)进行360°旋转。