[发明专利]一种硅微隧道式加速度计输出反馈控制电路在审
| 申请号： | 201610692293.3 | 申请日： | 2016-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN107765035A | 公开（公告）日： | 2018-03-06 |
| 发明（设计）人： | 王小义 | 申请（专利权）人： | 王小义 |
| 主分类号： | G01P15/08 | 分类号： | G01P15/08 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 110179 辽宁省沈*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 一种硅微隧道式加速度计输出反馈控制电路，适用于交通领域。反馈控制电路由I‑V转换电路、主放大电路、反馈电路组成。敏感加速度的测试结构以硅为材料，通过MEMS工艺实现，其电路设计因要在降低噪声，提高输出灵敏度的基础上，实现微弱电流的输出检测和反馈控制。电路结构简单，体积较小，工作稳定，适应性好，提高了工作效率以及检测精度，降低了电路功耗，且反馈速度较快，具有较强的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 隧道 加速度计 输出 反馈 控制电路 | ||
【主权项】：
一种硅微隧道式加速度计输出反馈控制电路，其特征是：所述的输出反馈控制电路由由I‑V转换电路、主放大电路、反馈电路组成。
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