[发明专利]一种二次添加掺杂剂的方法和装置在审
| 申请号： | 201610670967.X | 申请日： | 2016-08-15 |
| 公开（公告）号： | CN106012010A | 公开（公告）日： | 2016-10-12 |
| 发明（设计）人： | 武鹏;王双丽;徐岩;黄春来 | 申请（专利权）人： | 江苏协鑫硅材料科技发展有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 唐清凯 |
| 地址： | 221004 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种二次添加掺杂剂的方法，包括步骤：将含有掺杂剂的硅料熔化为硅液；长晶，在所述长晶阶段中，使二次掺杂剂以液态的方式进入硅液。上述二次添加掺杂剂的方法，将掺杂剂以液态的方式加入硅液中，减少了对熔硅液面的冲击，减少了杂质产生的几率。并通过二次加入掺杂剂，改善硅锭掺杂元素的分布，降低电阻率不良或提升硅片的机械强度，从而提升硅锭的铸锭成品率和硅片质量。另外还提出一种用于多晶铸锭生产的二次添加掺杂剂的装置。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 二次 添加 掺杂 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种二次添加掺杂剂的方法，其特征在于，包括步骤：将含有掺杂剂的硅料熔化为硅液；长晶，在所述长晶阶段中，使二次掺杂剂以液态的方式进入硅液。
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