[发明专利]一种改性钨镍合金靶材制备工方法在审
| 申请号： | 201610656528.3 | 申请日： | 2016-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN106119788A | 公开（公告）日： | 2016-11-16 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 苏州思创源博电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215009 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种改性钨镍合金靶材制备工方法，先采用冷等静压工艺对钨、镍混合粉末和不锈钢空心管进行首次致密化和预成型，形成半致密的钨、镍混合粉末和不锈钢初始坯料，使后续的热等静压工艺对钨、镍混合粉末和不锈钢初始坯料可以进行更好的致密，用物理气相沉积方法使靶材表面金属化改性，解决钨镍合金靶材表面金属化改性这一难题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 改性 镍合金 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种改性钨镍合金靶材制备工方法，该方法包括如下步骤：（1）制备靶材提供钨和镍混合粉末，所述钨粉和镍粉的质量比为9.95:1至10.05:1；对所述钨和镍混合粉末进行冷等静压工艺，形成钨和镍混合粉末初始坯料；将所述钨和镍混合粉末初始坯料装入真空包套并对所述真空包套抽真空后，对所述钨和镍混合初始坯料进行热等静压工艺，形成钨镍合金；去除所述真空包套，获得以所述钨镍合金靶材；其中，所述冷等静压工艺的工艺温度为50℃至150℃，环境压强为170MPa至190MPa，在所述工艺温度和环境压强下的工艺时间为15分钟至25分钟；其中，所述热等静压工艺包括加热工艺和热等静压烧结工艺；所述加热工艺的工艺温度为300℃至400℃，在所述温度下保温5小时至7小时；所述热等静压烧结工艺的工艺温度为1150℃至1250℃，环境压强为160MPa至200MPa，在所述工艺温度和环境压强下的工艺时间为5小时至7小时；（2）改性处理在物理气相沉积设备的镀膜室装入金属或合金阴极靶材，然后将立方氮化硼微粉放入滚筒式沉积台；关闭镀膜室门，设定气相沉积参数，进行物理气相沉积镀膜；将镀膜后的立方氮化硼微粉在真空热处理炉中进行热处理，即得到表面金属化改性的钨镍合金靶材。
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