[发明专利]一种气相过氧化氢检测仪校准装置及其校准方法有效
| 申请号： | 201610653133.8 | 申请日： | 2016-08-08 |
| 公开（公告）号： | CN106353265B | 公开（公告）日： | 2019-04-16 |
| 发明（设计）人： | 潘孙强;陈哲敏 | 申请（专利权）人： | 浙江省计量科学研究院 |
| 主分类号： | G01N21/31 | 分类号： | G01N21/31 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 林超 |
| 地址： | 310018 浙江省杭*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种气相过氧化氢检测仪校准装置及其校准方法。包括过氧化氢隔离器、过氧化氢发生器和过氧化氢浓度监测装置；过氧化氢隔离器中，过氧化氢隔离器的进出气口与过氧化氢发生器的进出气口相连通，过氧化氢发生器将过氧化氢液态汽化成气相，过氧化氢隔离器安装连接有用于检测过氧化氢浓度的过氧化氢浓度监测装置。本发明采用过氧化氢发生器发生高浓度气相过氧化氢，同时采用过氧化氢浓度监测装置对过氧化氢浓度进行实时监测，等过氧化氢浓度稳定后再对过氧化氢检测仪进行校准，避免了过氧化氢浓度波动对校准结果的影响，实现了对高浓度过氧化氢检测仪的校准。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 过氧化氢 检测 校准 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
1.一种气相过氧化氢检测仪校准装置，其特征在于：包括过氧化氢隔离器(1)、过氧化氢发生器(3)和过氧化氢浓度监测装置(4)；过氧化氢隔离器(1)中，过氧化氢隔离器(1)的进出气口与过氧化氢发生器(3)的进出气口相连通，过氧化氢发生器(3)将过氧化氢液态汽化成气相，过氧化氢隔离器(1)安装连接有用于检测过氧化氢浓度的过氧化氢浓度监测装置(4)；所述过氧化氢浓度监测装置(4)包括激光器(41)、第一窗口片(42)、第二窗口片(43)、反射镜(44)、探测器(45)、激光控制器(46)、信号发生器(47)、锁相放大器(48)和计算机(49)；所述的过氧化氢隔离器(1)侧壁开有第一窗口片(42)和第二窗口片(43)，过氧化氢隔离器(1)内部置有反射镜(44)；信号发生器(47)分别与激光控制器(46)、锁相放大器(48)和计算机(49)连接，激光控制器(46)连接激光器(41)，锁相放大器(48)连接探测器(45)；激光器(41)发出激光经第一窗口片(42)入射到反射镜(44)上，反射镜(44)反射后经第二窗口片(43)出射到探测器(45)上；所述的信号发生器(47)产生信号发送到激光控制器(46)进而控制激光器(41)的工作电流，激光器(41)输出激光透过第一窗口片(42)经反射镜(44)反射，反射光透过第二窗口片(43)由探测器(45)进行接收，输出信号至锁相放大器(48)，锁相放大器(48)输出二次谐波信号至计算机(49)，计算机(49)计算得到过氧化氢隔离器(1)内的气相过氧化氢浓度；所述的激光器(41)为量子级联激光器，输出激光波长为1255cm‑1。
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