[发明专利]一种对称弹性夹持结构下轴线的高精度找正装置及方法有效
| 申请号： | 201610649366.0 | 申请日： | 2016-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN106444306B | 公开（公告）日： | 2019-10-15 |
| 发明（设计）人： | 王皓;熊思勇;刘海波;田思玉 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种对称弹性夹持结构下轴线的高精度找正装置及方法，其要点是：激光发出的激光光束入射至夹持结构表面，经过反射后的反射光线投影到PSD屏幕上，形成反射光斑，输出位移值。弹性夹持结构沿X轴正反方向扫描，寻找到正反向扫描偏角差值最小的θy区间，然后在该区间内取θy的细化步距，按上面的方法重新找沿X轴正反方向扫描的差值，当该差值小于20μrad就认为已经完成了夹持结构与硅片面Y轴偏角的调平。同理，按上面同样的方法完成夹持结构与硅片面的X轴偏角的调平，即找到了探针尖部与光刻胶面的相对站正位置。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 对称 弹性 夹持 结构 轴线 高精度 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种对称弹性夹持结构下轴线的高精度找正装置，其特征在于：它包括五维调节架、激光器、位置敏感探测器(PSD)、对称弹性夹持结构、硅片、纳米精动台、电荷耦合器件(CCD)和气浮式光学平台，其中对称弹性夹持结构由四壁圆形铰链和探针组成，探针处于圆形铰链的正下方，探针尖部面与圆形铰链上、下表面平行。
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