[发明专利]光栅刻划刀俯仰角的测量装置及其测量方法有效
申请号: | 201610647108.9 | 申请日: | 2016-08-09 |
公开(公告)号: | CN106225649B | 公开(公告)日: | 2018-10-19 |
发明(设计)人: | 糜小涛;唐玉国;于海利;姚雪峰;宋楠;齐向东;巴音贺希格 | 申请(专利权)人: | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
主分类号: | G01B5/24 | 分类号: | G01B5/24 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 李海建 |
地址: | 130033 吉林省长春*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | 本发明公开了一种光栅刻划刀俯仰角的测量装置及其测量方法,其包括基座、转盘、基准镜、支架和刀架安装座,测量时,测量装置处于基准位置,即第一定位标识和第二定位标识重合,将带有刀刃不倾斜的刻划刀的刀架安装在刀架安装座上,刻划刀的刀刃在测量面上的投影与第三定位标识重合,刻度盘显示的数值为机械零度。将待检测俯仰角的刀架安装在刀架安装座上,若待检测的刻划刀的刀刃在测量面上的投影不与第三定位标识重合时,则通过转动刀架安装座直至重合,此时刻度盘显示的数值为刀刃的俯仰角。通过上述的测量装置可直观而且定量的确定刀架的俯仰角的数值,因此,提高了检测的准确性。 | ||
搜索关键词: | 光栅 刻划 俯仰 测量 装置 及其 测量方法 | ||
【主权项】:
1.一种光栅刻划刀俯仰角的测量装置,其特征在于,包括:基座(1),所述基座(1)上具有第一定位标识(101);可转动的安装在所述基座(1)上的转盘(2),所述转盘(2)上具有第二定位标识,所述第一定位标识(101)和所述第二定位标识能够定位所述转盘(2)在所述基座(1)上的基准位置;可相对转动的安装在所述转盘(2)上的基准镜(4),所述基准镜(4)的测量面上具有关于所述测量面的中心为中心对称的第三定位标识;固定安装在所述转盘(2)上的支架;可同步转动的安装在所述支架上的刻度盘(17)和刀架安装座(19),所述刀架安装座(19)具有用于定位刀架位置的定位面,所述刀架的刻划刀平行于所述测量面时所述刻划刀在所述测量面上的竖直方向投影与所述第三定位标识重合,所述刻度盘(17)显示的数值为所述刀架安装座(19)在俯仰面内转动的角度;所述刀架具有调节刻划刀的刀刃俯仰角的调节轴。
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