[发明专利]玻璃基板处理装置有效
| 申请号： | 201610638382.X | 申请日： | 2016-08-05 |
| 公开（公告）号： | CN106094291B | 公开（公告）日： | 2019-04-02 |
| 发明（设计）人： | 徐涛 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13 |
| 代理公司： | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 | 代理人： | 袁江龙 |
| 地址： | 430070 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供一种玻璃基板处理装置，该玻璃基板处理装置包括风刀和设于风刀后侧的水滴检查仪，风刀用于将玻璃基板吹净，水滴检查仪用于检测玻璃基板上是否有水滴。本发明提供的玻璃基板处理装置可有效地检测玻璃基板上的水滴情况，以避免后续的涂布制程中发生不良。 | ||
| 搜索关键词： | 玻璃 处理 装置 | ||
【主权项】：
1.一种玻璃基板处理装置，其特征在于，所述玻璃基板处理装置包括风刀和设于所述风刀后侧的水滴检查仪，所述风刀用于将玻璃基板吹净，所述水滴检查仪用于检测所述玻璃基板上是否有水滴，所述水滴检查仪包括投光器和受光器，所述投光器和所述受光器分别设于所述玻璃基板的两侧，所述投光器发出检查光经所述玻璃基板表面并由所述受光器接受，所述受光器根据接受的光量判断所述玻璃基板表面是否有水滴。
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