[发明专利]共聚物和相关层状制品，以及器件形成方法

摘要

通过使包括紫外光吸收型单体以及碱溶解度增强型单体的单体聚合来制备共聚物。所述共聚物适用于形成电子束以及远紫外平版印刷术用的面涂层。还描述包括所述面涂层的层状制品以及形成电子器件的相关方法。

主权项

1.一种共聚物，其中所述共聚物包含单体聚合产物，所述单体包含∶频带外吸收型单体，其中所述频带外吸收型单体包含未被取代或被取代的不含氟的C₆‑C₁₈芳基、未被取代或被取代的C₂‑C₁₇杂芳基、C₅‑C₁₂二烯酮基团，或其组合；以及碱溶解度增强型单体，其中所述碱溶解度增强型单体选自由以下各物组成的群组：聚氧化乙烯的(甲基)丙烯酸酯、聚氧化丙烯的(甲基)丙烯酸酯、被内酯取代的(甲基)丙烯酸酯、被具有2到12的pK_a的基团取代的(甲基)丙烯酸酯，及其组合；以及其中包含未被取代或被取代的不含氟的C₆‑C₁₈芳基的所述频带外吸收型单体具有结构：其中R¹是氢或甲基，n是0、1、2、3或4，以及Ar¹是未被取代或被取代的不含氟的C₆‑C₁₈芳基；其中所述被取代的不含氟的C₆‑C₁₈芳基包含至少一个选自下组的取代基：Cl、Br、I、胺基、硫醇、羧基、羧酸酯、包括丙烯酸酯、甲基丙烯酸酯以及内酯在内的酯、酰胺、腈、硫化物、二硫化物、硝基、C_1‑18烷基、包括降冰片烯基以及金刚烷基在内的C_1‑18烯基、C_1‑18烷氧基、包括乙烯基醚在内的C_2‑18烯氧基、C_6‑18芳基、C_6‑18芳氧基、C_7‑18烷基芳基或C_7‑18烷基芳氧基；其中由所述共聚物铸成的膜在150纳米到400纳米范围内的波长下具有0.1到0.5的消光系数k，以及所述共聚物具有1.05到1.2的分散度(M_w/M_n)。