[发明专利]一种基于4‑苯基嘧啶制备铜缓蚀膜的方法有效
申请号: | 201610629402.7 | 申请日: | 2016-08-03 |
公开(公告)号: | CN106167903B | 公开(公告)日: | 2018-04-06 |
发明(设计)人: | 杨海峰;魏楠;应叶 | 申请(专利权)人: | 上海师范大学 |
主分类号: | C23F11/14 | 分类号: | C23F11/14 |
代理公司: | 上海科盛知识产权代理有限公司31225 | 代理人: | 林君如 |
地址: | 200234 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明涉及一种基于4‑苯基嘧啶制备铜缓蚀膜的方法,包括以下步骤取预处理后的铜电极,置入除去溶解氧的4‑苯基嘧啶溶液中,密封条件下,在铜电极表面形成缓蚀膜。与现有技术相比,本发明将缓蚀剂分子自组装到铜表面,形成自组装分子膜,方法更加绿色环保,4‑PPM缓蚀剂比较环保,原料价廉,缓蚀效果更好等。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 苯基 嘧啶 制备 铜缓蚀膜 方法 | ||
【主权项】:
一种基于4‑苯基嘧啶制备铜缓蚀膜的方法,其特征在于,包括以下步骤:取预处理后的铜电极,置入除去溶解氧的4‑苯基嘧啶溶液中,密封条件下,在铜电极表面形成缓蚀膜;所述的4‑苯基嘧啶溶液为浓度0.1~5mM的4‑苯基嘧啶水溶液;铜电极在4‑苯基嘧啶溶液中浸泡的时间为1‑10h,温度为室温。
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