[发明专利]一种用于非球面反射镜的五棱镜扫描检测方法

摘要

本发明公开一种用于非球面反射镜的五棱镜扫描检测方法，一、置备检测所需装置；二、单条母线的扫描检测；三、完成单条母线的扫描后，将非球面反射镜旋转角度a再进行下一条母线的扫描检测；四、检测数据处理及拟合；将所有的角度差值转换为非球面反射镜的反射面相应位置的斜率值，将所述斜率值与Zernike梯度多项式进行拟合，得到非球面反射镜的低阶面形误差参数，本发明能够获取反射镜的高精度低阶面形误差参数。

主权项

一种用于非球面反射镜的五棱镜扫描检测方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤一、置备检测所需装置；检测所需装置包括激光发射器、参考五棱镜、扫描五棱镜、导轨、光电探测器件以及活动连接于导轨的滑块；将光电探测器件固定安装在非球面反射镜的曲率中心处，在垂直于非球面反射镜的光轴方向安装导轨，激光发射器、参考五棱镜和扫描五棱镜依次安装在导轨上，参考五棱镜和扫描五棱镜固定安装在活动连接于导轨的滑块上，激光发射器固定安装在导轨远离光轴的一端；步骤二、单条母线的扫描检测；将参考五棱镜固定，使其折转的激光发射器光斑照射在非球面反射镜的边缘位置，移动扫描五棱镜，使扫描五棱镜折转的光斑沿导轨方向掠过整个非球面反射镜的反射面，每移动一个位置，得到一组参考光斑和扫描光斑在光电探测器上的位置信息，将此位置信息转换为角度测量值，将每组角度测量值相减得到角度差值，完成单条母线的扫描检测；步骤三、将非球面反射镜旋转角度a再进行下一条母线的扫描检测，直至完成非球面反射镜整个镜面的扫描检测；步骤四、检测数据处理及拟合；将所有的角度差值转换为非球面反射镜的反射面相应位置的斜率值，利用Zernike梯度多项式对各条母线的斜率值进行最小二乘法拟合，求解出各低阶像差的系数，使用该系数重构被测非球面反射镜的面形信息，得到非球面反射镜的低阶面形误差参数。