[发明专利]一种六氟化硫高压检测系统

摘要

本发明一种六氟化硫高压检测系统，包括激光发射器、电光调制器、光栅、透镜、光声腔、能量测量仪和计算机单元；通过利用光声气体检测技术对六氟化硫气体进行检测，光声气体检测技术是基于不同气体在红外波段有不同的特征吸收光谱，六氟化硫的红外特征光谱在10.55μm左右，通过激光射入光声腔内检测气体，对穿过检测气体的激光进行能量计算，激光的变化来检测气体中是否有六氟化硫泄漏；并通过光声腔内能量变化产生振动变化的检测来检测气体是否有六氟化硫泄；这种检测系统检测灵敏度高，反应快。

主权项

1.一种六氟化硫高压检测系统，其特征在于，包括激光发射器、电光调制器、光栅、透镜、光声腔、能量测量仪和计算机单元；所述激光发射器的发射端对着电光调制器的输入端，所述电光调制器的输出端对着光栅的一侧，所述光栅的另一侧对着光声腔的激光入口，所述透镜设置在光栅与光声腔激光入口之间，所述光声腔的激光出口对着能量测量仪，所述能量测量仪连接计算机单元；所述激光发射器用于发射波长为10.55μm的激光；所述光声腔设有气体入口和气体出口，所述光声腔包括两个腔室，两个腔室通过共振管连接，所述光声腔的一个腔室上设有气体入口和激光入口，另一个腔室设有气体出口和激光出口，所述光声腔上设有声音传感器，所述声音传感器连接计算机单元，所述声音传感器为四个，其中两个声音传感器分别设置在光声腔的两个腔室上，另外两个声音传感器分别设置在共振管上；所述光声腔的激光出口设有半反射镜。