[发明专利]一种薄膜电容器的制备方法在审
| 申请号： | 201610617283.3 | 申请日： | 2016-08-01 |
| 公开（公告）号： | CN106158373A | 公开（公告）日： | 2016-11-23 |
| 发明（设计）人： | 罗文彬 | 申请（专利权）人： | 合肥佳瑞林电子技术有限公司 |
| 主分类号： | H01G4/33 | 分类号： | H01G4/33 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 230000 安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种薄膜电容器的制备方法，涉及电子元器件制作技术领域，包括蒸镀金属层、溅射法制备电极层和升温/退火处理，在绝缘体薄膜表面蒸镀一层金属薄膜，并绕卷为薄膜卷；将薄膜卷放置在旋转绕驱架上放进真空腔室，并对真空腔室进行抽真空，采用离子溅射法制备电极层，并利用激光刻蚀获得图案化电极图层；将薄膜电容器放入电阻炉，在通入保护气体的环境下进行逐级升温处理，然后，再进行退火处理，待温度达到常温时，再将薄膜电容器从旋转绕驱架上的取出，分切成薄膜电容所需的薄膜带。本发明工艺简单、易于工业化的特点，实际生产成本较小，这种方法制备的薄膜电容器具有较高的抗氧化性和延展性，同时还具有较大电容量，满足产品轻量化的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 电容器 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种薄膜电容器的制备方法，其特征在于，包括蒸镀金属层、溅射法制备电极和升温/退火处理，薄膜电容器的制备方法如下：（1）蒸镀金属层：在绝缘体薄膜表面蒸镀一层金属薄膜，并绕卷为薄膜卷；（2）溅射法制备电极层：将薄膜卷放置在旋转绕驱架上放进真空腔室，并对真空腔室进行抽真空，采用离子溅射法制备电极层，并利用激光刻蚀获得图案化电极图层；（3）升温/退火处理：将薄膜电容器放入电阻炉，在通入保护气体的环境下进行逐级升温处理，然后，再进行退火处理，待温度达到常温时，再将薄膜电容器从旋转绕驱架上的取出，分切成薄膜电容所需的薄膜带。
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