[发明专利]柔性压力传感器

摘要

本发明公开了一种柔性压力传感器。该压力传感器包括：上下层衬底；置于衬底上的电极；电极之间的绝缘填充材料。该压力传感器采用柔性衬底，电极材料采用金属材料或碳粉材料加工而成，电极加工方法采用压印方式，可实现该类器件大规模批量化生产的目的。本发明提出的新型柔性压力传感器具有灵敏度高，可大规模制造，用途广泛等优点。

主权项

1.一种柔性压力传感器，其特征在于：包括上层柔性衬底（1）和下层柔性衬底（2），所述上层柔性衬底（1）上分布有上电极（3），所述下层柔性衬底（2）上分布下电极（4），所述上电极（3）和下电极（4）间隔相对布置；所述上、 下层柔性衬底（1、2）之间设置柔性伸缩绝缘层（5）；所述柔性伸缩绝缘层（5）采用聚二甲基硅氧烷材料制作，具体为：第一步，将聚二甲基硅氧烷通过旋转涂敷或者丝网印刷加工方式将第一层PDMS制备于电极结构之上；第二步，采用一层一层的方式，将吡咯单体倒入氯化铁溶液中，将上述制备有一层PDMS结构的器件浸泡入上述溶液中，静置30秒，再取出，在形成的第一层PDMS之上制备出单层聚吡咯聚合物；第三步，在此基础上再通过旋转涂敷或者丝网印刷加工方式将第二层PDMS制备于聚吡咯聚合物之上，重复上述动作，最后形成三层PDMS夹有两层聚吡咯聚合物的敏感层结构，形成压力敏感层。