[发明专利]一种用于并行测试系统的介质经时击穿测试装置在审
| 申请号： | 201610604785.2 | 申请日： | 2016-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN106291276A | 公开（公告）日： | 2017-01-04 |
| 发明（设计）人： | 吴奇伟;尹彬锋;周柯 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/12 | 分类号： | G01R31/12 |
| 代理公司： | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙)31275 | 代理人： | 吴世华,陈慧弘 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于并行测试系统的介质经时击穿测试装置，包括多个介质样品测试支路单元，其并联设置在由同一电源供电的电路单元中，各介质样品测试支路单元串联设有开关、电感元件及介质样品接口；当某一测试支路因介质样品被击穿而产生电流瞬间变大时，电感元件立即产生反向电压，可防止因该支路电流突变而造成其他测试支路的压降，使电源有一定的弛豫时间来探测到介质样品击穿并断开该支路的开关，从而可有效避免并行测试系统在进行介质经时击穿测试时，因某一介质样品先击穿而引起的其他样品两端电压波动的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 并行 测试 系统 介质 击穿 装置 | ||
【主权项】：
一种用于并行测试系统的介质经时击穿测试装置，其特征在于，包括多个介质样品测试支路单元，其并联设置在由同一电源供电的电路单元中，各介质样品测试支路单元串联设有开关、电感元件及介质样品接口；其中，在进行介质经时击穿测试时，当某一介质样品测试支路单元因其串接的介质样品被击穿而产生电流瞬间变大时，通过其设有的电感元件立即产生反向电压，以防止因该介质样品测试支路单元电流突变而造成的其他介质样品测试支路单元压降，使电源有一定的弛豫时间来探测到该介质样品测试支路单元的介质样品击穿并断开该介质样品测试支路单元的开关。
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