[发明专利]一种铸锭炉热场结构及制备工艺

摘要

本发明涉及一种铸锭炉热场结构，包括：炉体，可升降的隔热笼；热交换台；坩埚；石墨护板；加热装置；保温板；可升降的隔热底板，用于与隔热笼一起形成封闭空腔；其中封闭空腔形成时，保温板处于环绕坩埚底部一周的位置，隔热底板相对炉体下降时能够使保温板下降到环绕热交换台一周的位置，隔热笼相对炉体提升时，隔热笼能够带动保温板上升。保温板在晶体熔化阶段起保护籽晶作用，在晶体生长阶段，利用隔热底板和隔热笼的运动控制保温板上下移动，确保晶体生长时的四周和中心散热速率相当，从而获得平整的固液界面，得到高品质的柱状晶结构的晶体硅。还提出一种使用前述铸锭炉热场结构的制备工艺。

主权项

一种铸锭炉热场结构，其特征在于，包括：炉体，所述炉体内设有：可升降的隔热笼；热交换台；坩埚，置于所述热交换台上；石墨护板，位于所述坩埚的四周；加热装置，用以熔化坩埚中的硅料；保温板，位于所述坩埚与所述隔热笼之间，所述保温板绕所述坩埚一周；可升降的隔热底板，用于与所述隔热笼一起形成封闭空腔，所述封闭空腔用以容纳热交换台及坩埚；其中所述封闭空腔形成时，所述保温板处于环绕所述坩埚底部一周的位置，所述隔热笼不动而隔热底板相对炉体下降时，所述隔热底板能够使所述保温板下降到环绕所述热交换台一周的位置，隔热底板保持下降后的位置而所述隔热笼相对炉体提升时，所述隔热笼能够带动所述保温板上升。