[发明专利]光学窗口组件漏率检测装置及检测方法

摘要

光学窗口组件漏率检测装置及检测方法，涉及光学窗口组件检测技术领域，解决现有光学窗口组件漏率检测技术耗时费力且无法确定光学窗口组件自身漏率等问题，包括氦质谱检漏仪、第一快接法兰、手动真空挡板阀、波纹管、He气注射喷枪、底座、密闭容器和He标准漏孔；光学窗口组件与底座连接并置于密闭容器内，且光学窗口组件与底座之间设置有O型密封圈；氦质谱检漏仪的出口处设置手动真空挡板阀；波纹管的两端分别通过第一快接法兰与手动真空挡板阀和底座连接，He标准漏孔通过第二快接法兰与底座连接，He标准漏孔设置有球阀，用于控制He标准漏孔的开放与关闭，He气注射枪向密闭容器内注射氦气。本装置结构简单、操作方便。

主权项

1.光学窗口组件漏率检测装置，包括氦质谱检漏仪(1)、第一快接法兰(3)、手动真空挡板阀(2)、波纹管(4)、He气注射喷枪(5)、底座(7)、密闭容器(8)和He标准漏孔(9)；其特征是；光学窗口组件(6)与底座(7)连接并置于密闭容器(8)内，且所述光学窗口组件(6)与底座(7)之间设置有O型密封圈；所述氦质谱检漏仪(1)的出口处设置手动真空挡板阀(2)；所述手动真空挡板阀(2)通过第一快接法兰(3)与波纹管(4)的一端连接，所述波纹管(4)的另一端通过第一快接法兰(3)与底座(7)连接，所述He标准漏孔(9)通过第二快接法兰(10)与底座(7)连接，所述He标准漏孔(9)设置有球阀，用于控制He标准漏孔(9)的开放与关闭；He气注射枪(5)用于向密闭容器(8)内注射氦气；所述光学窗口组件漏率检测装置的检测方法，该方法由以下步骤实现：步骤一、启动氦质谱检漏仪(1)，氦质谱检漏仪(1)进入自检状态，待自检结束后记录氦质谱检漏仪(1)示数；步骤二、打开He标准漏孔(9)的球阀，He标准漏孔(9)向光学窗口组件(6)充入He气，待稳定后读出氦质谱检漏仪(1)示数；步骤三、关闭He标准漏孔(9)球阀，采用He气注射喷枪(5)向密闭容器(8)内喷射氦气，待稳定后读出氦质谱检漏仪(1)示数；采用下式进行光学窗口组件漏率计算：Q＝(I‑I0)QS/(IS‑I0)D；式中：Q为光学窗口组件漏率，Qs为标准漏孔的漏率标定值，I为喷射氦气稳定后，氦质谱检漏仪的示数；I0为自检结束后，氦质谱检漏仪的示数；IS为标准漏孔打开稳定后，氦质谱检漏仪的示数；D为密闭容器内氦气的浓度。