[发明专利]紫外感光铌酸锂溶胶及其薄膜微细图形的制备方法

摘要

本发明公开了紫外感光铌酸锂溶胶的制备方法，以Nb(CH₃CH₂O)₅、CH₃COOLi·2H₂O、苯酰丙酮、无水乙醇、丙烯酸按一定的摩尔比例制成，随后添加无水乙醇调节至金属总离子浓度为0.3～0.5mol/L，即可得到感光LiNbO₃溶胶；本发明还公开了使用紫外感光铌酸锂溶胶制备薄膜微细图形的方法，利用感光LiNbO₃溶胶，通过浸渍提拉法在基板上制备凝胶薄膜，随后依次经干燥、曝光、溶洗、热处理，即得LiNbO₃薄膜微细图形。本发明采用紫外掩膜板法或激光干涉法直接在凝胶膜光刻，无需其他辅助工艺，即可制备大面积微细图形；浸渍提拉法获得紫外感光LiNbO₃凝胶薄膜，薄膜厚度易控制，可获得较大尺寸凝胶膜，制备的LiNbO₃微细图形线条光滑，结构规整，薄膜没有污染，性能稳定。

主权项

1.紫外感光铌酸锂溶胶的制备方法，其特征在于，具体包括以下步骤：步骤1，取Nb(CH₃CH₂O)₅向其中加入无水乙醇，室温下搅拌5～10min，形成A溶液；将CH₃COOLi·2H₂O加入到无水乙醇中，室温下搅拌并向其中加入丙烯酸，继续搅拌40～60min，使其完全溶解，形成B溶液；称取化学修饰剂加入到无水乙醇中，充分搅拌后，形成C溶液；C溶液中化学修饰剂为苯酰丙酮，苯酰丙酮与无水乙醇的摩尔比为1:10～15步骤2：按步骤1所得A溶液、B溶液、C溶液中Nb⁵⁺：Li⁺：BzAcH＝1:1:1，将A溶液、B溶液与C溶液均匀混合，随后向其中加入无水乙醇调节至金属总离子浓度为0.3～0.5mol/L，即得紫外感光LiNbO₃溶胶。