[发明专利]一种温度探测用宽带红外滤光片及其制备方法有效
| 申请号： | 201610589201.9 | 申请日： | 2016-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN106199803B | 公开（公告）日： | 2018-11-06 |
| 发明（设计）人： | 刘桂武;邵海成;侯海港 | 申请（专利权）人： | 镇江爱豪科思电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/28 | 分类号： | G02B5/28 |
| 代理公司： | 南京知识律师事务所 32207 | 代理人： | 卢亚丽 |
| 地址： | 212009 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及红外滤光片，具体涉及一种温度探测用宽带红外滤光片及其制备方法。基底材料选用单晶Si，折射率n＝3.42881；高折射率材料选用Ge，折射率n＝4.16422；低折射率材料选用ZnS，折射率n＝2.2，在基板两个表面上分别沉积干涉截止膜系A面薄膜和干涉截止膜系B面薄膜。本发明提供的8000nm～13000nm宽带红外滤光片，通带两端波长定位在8000±1％nm和13000±1％nm，截止区透过率小于0.12％，透射区的透过率可达90％以上，极大的提高信噪比，很好的抑制其他的干扰，提高仪器温度探测的精度和效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 温度 探测 宽带 红外 滤光 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种温度探测用宽带红外滤光片，其特征在于：(1)采用单晶Si作基板，硅双面抛光，厚度300±10μm，晶向<100>；(2)镀膜材料选择硫化锌ZnS和单晶锗Ge，在基板两个表面上分别沉积多层干涉薄膜；(3)其中一面的膜系结构采用：Sub/0.2H(0.5LH0.5L)70.2H0.2L0.42(0.5HL0.5H)70.2L/Air，中心波长λ1＝15500nm；(4)另一面膜系结构采用：Sub/0.45(HL)7 0.7(HL)8(HL)6/Air，中心波长λ2＝4000nm；膜系中符号含义分别为：Sub为基板，Air为空气，H和L分别代表作为高折射率材料层的膜层Ge和作为低折射率材料层的膜层ZnS的一个1/4波长光学厚度，中波长λ1＝15500nm，λ2＝4000nm，1H＝(4nH d)/λ；1L＝(4nL d)/λ，结构式中数字为膜层的厚度系数、结构式中的指数是膜堆镀膜的周期数。
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