[发明专利]一种抗结焦的类金刚石膜的制备方法在审
| 申请号： | 201610587381.7 | 申请日： | 2016-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN107641788A | 公开（公告）日： | 2018-01-30 |
| 发明（设计）人： | 李林;李振铎;王培培 | 申请（专利权）人： | 北京华石联合能源科技发展有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/48;C23C14/02 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司11250 | 代理人： | 李敏 |
| 地址： | 100101 北京市朝*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种抗结焦的类金刚石膜的制备方法，该方法通过对基体依次进行活化处理、氮元素注入、碳素注入及沉积，从而在基体上成型一层类金刚石膜。上述氮元素的注入，可提高膜基间的结合强度，增强类金刚石膜的韧性；同时本发明的制备方法严格控制注入碳素时的负脉冲偏压为20～30KV、脉冲频率为650～950Hz、占空比不超过1％，真空度为0.5～2Pa，使得最终制得的类金刚石膜的硬度可达金刚石的20‑30％、表面摩擦系数≤0.05、磨损率≤1×10‑9、膜基结合强度高达40N、疏水角和疏油角分别最高可达140°、62°，由此本发明的制备方法可用于在化工装置中的管道内壁上成型类金刚石膜，以有效防止管道内壁的磨损和结焦，延长管道的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 结焦 金刚石 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种抗结焦的类金刚石膜的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：(1)将基体置于真空环境中，向所述基体施加负脉冲偏压，并向所述真空环境中通入氩气，利用氩等离子体对所述基体的表面进行活化处理；(2)向步骤(1)的真空环境中通入氮气，利用氮等离子体对经活化后的所述基体的表面实施氮元素注入；(3)向步骤(2)的真空环境中通入乙炔气体，将施加在所述基体上的负脉冲偏压调整为20～30KV，脉冲频率为650～950Hz，占空比不超过1％，保持真空度为0.5～2Pa，即可在所述基体的表面沉积一层类金刚石膜。
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