[发明专利]灵敏度可调的真空检漏自动化系统

摘要

本发明公开了一种灵敏度可调的真空检漏自动化系统，主要包括真空获得和测量单元以及检漏单元；所述真空获得与测量单元包括真空室、分子泵、螺杆泵、真空计、气动插板阀、可控蝶阀、电磁阀和过滤器；所述检漏单元包括氦质谱检漏仪、标准漏孔、充放气设备和计算机控制系统，计算机控制系统通过PLC程序对分子泵、螺杆泵、氦质谱检漏仪以及各阀门进行控制。本发明通过计算机控制系统，提高了试验仪器操作的便捷性和准确率，试验数据处理能力有效提升，节省了试验时间和经费。

主权项

1.灵敏度可调的真空检漏自动化系统，主要包括真空获得和测量单元以及检漏单元；所述真空获得与测量单元包括真空室、分子泵、螺杆泵、真空计、气动插板阀、可控蝶阀、电磁阀和过滤器；所述检漏单元包括氦质谱检漏仪、标准漏孔、充放气设备和计算机控制系统，其中，分子泵一端通过气动插板阀一连接在真空室上，分子泵另一端分别通过电磁阀一和可控蝶阀与氦质谱检漏仪、螺杆泵管路连通，螺杆泵与可控蝶阀管路又分别通过气动插板阀二和电磁阀二与真空室、过滤器一连通；真空室上还分别设置有真空计、通过电磁阀三连通的过滤器二以及通过电磁阀四连接的标准漏孔，真空室还连接有充放气设备，对待测样品进行充放气，计算机控制系统通过PLC程序对分子泵、螺杆泵、氦质谱检漏仪以及各阀门进行控制，其中，所述可控蝶阀通过设置阀门开度来控制阀门的流量，所述计算机控制系统用于向分子泵、各阀门、氦质谱检漏仪发出控制信号，并且处理分子泵、各阀门、氦质谱检漏仪传入的数据信号，再将控制、测量结果呈现出来。/n