[发明专利]一种光通信和磁储存镀膜用稀土-过渡金属旋转靶材及其制备方法

摘要

本发明涉及了一种光通信和磁储存镀膜用稀土‑过渡金属旋转靶材及其制备方法，采用真空等离子喷涂的方法进行制备，得到的稀土‑过渡金属旋转靶材的尺寸不受限制，厚度可达到3～13mm，是大尺寸一体化靶材，克服了绑定拼接靶材容易引起的电弧放电和靶材黑化问题，另外靶材纯度高，克服了传统等离子喷涂工艺制备的靶材纯度低、致密度差、氧、氮含量高等问题。

主权项

1.一种光通信和磁储存镀膜用稀土‑过渡金属旋转靶材的制备方法，其特征在于，所述稀土‑过渡金属旋转靶材为Tb20(Fe95Co5)80、Tb20(Fe85Co10Ge5)80、(DyTb)20(Fe95Co5)80、(DyTb)20(Fe90Co5Ge5)80、Dy20(Fe95Co5)80或Dy20(Fe90Co5Ge5)80，其厚度达3～15mm，靶材相对密度≥97％，纯度≥99.99％，长度达到4000mm；包括如下步骤：(1)将稀土和过渡金属按比例置于坩埚中加热，待完全熔化为液体后，加入精炼清渣剂，对溶液搅拌、除渣和精炼；然后加热至熔炼温度1580‑1650℃并保温1‑2小时；保温完成后，将合金溶液倒入雾化快速冷凝装置的坩埚中进行雾化制粉得到稀土‑过渡金属粉末；(2)对基体管表面进行预处理；(3)在预处理后的基体表面上喷涂打底层；(4)对真空喷涂腔体抽真空充保护气；(5)喷涂步骤(1)得到的稀土‑过渡金属粉末，制备得到稀土‑过渡金属旋转靶材；步骤(5)所述的喷涂工艺参数为：电流450～550A，电压45～55V，送粉气流量200～350L/h，送粉量40～80g/min，主气流量1300～2400L/h，主气压力0.4～0.7Mpa，次气流量60～180L/h，次气压力0.2～0.4Mpa，喷涂距离100～200mm。