[发明专利]一种单晶硅柱面抛光工装在审
| 申请号： | 201610579869.5 | 申请日： | 2016-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN106002623A | 公开（公告）日： | 2016-10-12 |
| 发明（设计）人： | 陈兴建;江宗宇 | 申请（专利权）人： | 成都贝瑞光电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B41/06 | 分类号： | B24B41/06;B24B41/00;B24B23/02 |
| 代理公司： | 成都行之专利代理事务所(普通合伙)51220 | 代理人： | 马碧娜 |
| 地址： | 610000 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种单晶硅柱面抛光工装，包括夹持装置和抛光装置，所述夹持装置包括左夹持块、用于驱动左夹持块转动的左驱动件、与左夹持块相配合的右夹持块、用于驱动右夹持块沿左夹持块和右夹持块所在直线移动的距离调节装置、用于驱动右夹持块转动的右驱动件；所述抛光装置包括载片和设置在载片上的抛光结构，其利用人工抛光，抛光效果好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶硅 柱面 抛光 工装 | ||
【主权项】：
一种单晶硅柱面抛光工装，包括夹持装置和抛光装置，其特征在于：所述夹持装置包括左夹持块（11）、用于驱动左夹持块（11）转动的左驱动件（12）、与左夹持块（11）相配合的右夹持块（21）、用于驱动右夹持块（21）沿左夹持块（11）和右夹持块（21）所在直线移动的距离调节装置（22）、用于驱动右夹持块（21）转动的右驱动件（23）；所述抛光装置包括载片（31）和设置在载片（31）上的抛光结构（32）。
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