[发明专利]一种单晶硅柱面抛光工装在审
| 申请号： | 201610579869.5 | 申请日： | 2016-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN106002623A | 公开（公告）日： | 2016-10-12 |
| 发明（设计）人： | 陈兴建;江宗宇 | 申请（专利权）人： | 成都贝瑞光电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B41/06 | 分类号： | B24B41/06;B24B41/00;B24B23/02 |
| 代理公司： | 成都行之专利代理事务所(普通合伙)51220 | 代理人： | 马碧娜 |
| 地址： | 610000 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 单晶硅 柱面 抛光 工装 | ||
【权利要求书】：
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