[发明专利]一种多孔/量子点复合结构红外探测器单元及制备方法有效
| 申请号： | 201610567772.2 | 申请日： | 2016-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN106115603B | 公开（公告）日： | 2017-11-07 |
| 发明（设计）人： | 冯双龙;魏兴战;申钧;杨俊;陆仕荣;周大华;史浩飞;杜春雷 | 申请（专利权）人： | 中国科学院重庆绿色智能技术研究院 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81C1/00;G01J5/02 |
| 代理公司： | 北京元本知识产权代理事务所11308 | 代理人： | 黎昌莉 |
| 地址： | 400714 *** | 国省代码： | 重庆;85 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于多孔/量子点结构红外探测器，包括基底；所述基底上设置周期性红外探测基元阵列，单个所述红外探测基元包括位于基底上的衬底和生长于衬底上的多孔结构薄膜，所述多孔结构薄膜的孔隙内部为红外敏感材料量子点。将量子点做为桥面结构中的红外吸收层薄膜，多孔结构作为热敏感层薄膜，增强了红外探测焦平面器件的红外吸收率，从而使得非制冷焦平面器件的探测效率得到进一步提升，该制作过程简单可控，稳定性和可重复性高，这对器件的大批量生产有着至关重要的意义。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多孔 量子 复合 结构 红外探测器 单元 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种多孔/量子点结构红外探测器的制备方法，其特征在于，多孔/量子点结构红外探测器结构包括基底；所述基底上设置周期性红外探测基元阵列，单个所述红外探测基元包括位于基底上的衬底和生长于衬底上的多孔结构薄膜，所述多孔结构薄膜的孔隙内部为红外敏感材料量子点；多孔/量子点结构红外探测器的制备方法，包括以下步骤:1)在衬底上生长多孔结构薄膜；2)抛光多孔结构薄膜，确保薄膜结构的平整度；3)制备尺寸可控的红外敏感材料量子点；4)将红外敏感材料量子点旋涂到多孔结构薄膜的孔隙中，烘干；5)进行阵列化加工，获得周期性红外探测基元。
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