[发明专利]防着板固定装置、蒸镀腔室及蒸镀设备

摘要

本发明公开一种防着板固定装置、蒸镀腔室和蒸镀设备，属于蒸镀技术领域。防着板固定装置用于蒸镀设备，蒸镀设备的蒸镀腔室的内壁上设置有自锁安装结构，防着板固定装置包括自锁固定结构；自锁固定结构能够与防着板固定连接，且能够与自锁安装结构卡接，本发明解决了防着板固定过程复杂的问题，达到了简化防着板固定过程的效果。本发明用于防着板固定。

主权项

一种防着板固定装置，其特征在于，用于蒸镀设备，所述蒸镀设备的蒸镀腔室的内壁上设置有自锁安装结构，所述防着板固定装置包括：自锁固定结构，所述自锁固定结构能够与防着板固定连接；所述自锁固定结构包括：自锁棒、自锁扣和弹性件，所述自锁安装结构包括：自锁槽，所述自锁棒设置有空腔，侧壁上设置有与所述空腔连通的第一开口，所述弹性件设置在所述空腔内，所述自锁扣通过所述第一开口与所述弹性件固定连接，所述弹性件能够带动所述自锁扣进入所述空腔或远离所述空腔，所述自锁棒的一端能够插入所述自锁槽带动所述自锁扣插入所述自锁槽内，所述自锁槽的侧壁上设置有卡接结构，当所述自锁扣远离所述空腔运动至所述自锁棒外部时，所述自锁扣能够卡接在所述卡接结构上；或者，所述自锁固定结构包括：自锁棒、自锁扣和弹性件，所述自锁安装结构包括：固定杆，所述自锁棒设置有空腔，侧壁上设置有与所述空腔连通的第一开口，所述弹性件设置在所述空腔内，所述自锁扣通过所述第一开口与所述弹性件固定连接，所述弹性件能够带动所述自锁扣进入所述空腔或远离所述空腔，所述固定杆固定设置在所述蒸镀腔室的内壁上，且所述固定杆上设置有轴线方向与所述固定杆的长度方向垂直的自锁孔，所述自锁棒的一端能够穿过所述自锁孔带动所述自锁扣穿过所述自锁孔，当所述自锁扣远离所述空腔运动至所述自锁棒外部时，所述自锁扣能够通过所述自锁孔卡接在所述固定杆上。