[发明专利]气体流量控制

摘要

本发明涉及一种用于将气体提供到分析设备中的进气系统，所述系统包括：布置在进气管线上的至少第一和第二流量限制件；连接到所述进气管线的气体流量控制管线；在所述气体控制管线上的气体流量控制器；以及用于控制所述进气管线和所述气体控制管线中的气体流量的阀门。还提供一种控制至分析设备中的气体流量的方法。

主权项

1.一种用于将气体提供到分析设备中的进气系统，所述系统包括(a)至少一个进气管线，其流体地连接到所述设备，用于将气体引入到所述设备中；(b)至少一个阀门，其布置在所述至少一个进气管线上，用于控制所述至少一个进气管线中的气体的流量；(c)至少一个气体流量控制管线，其通过至少一个进气接头流体地连接到所述至少一个进气管线；(d)至少一个第一流量限制件和至少一个第二流量限制件，其布置在所述至少一个进气管线上，分别在所述至少一个进气接头的上游和下游；(e)至少一个背压校准器，其布置在所述至少一个气体流量控制管线上，以通过设定所述气体流量控制管线中的第一背压以及由此进入分析设备的第一气体流速、随后设定气体流量控制管线中的第二背压以及由此进入所述分析设备的第二气体流速来控制所述至少一个进气接头处的压力，所述第二背压与所述第一背压不同，且所述第二气体流速与所述第一气体流速不同；(f)至少一个阀门，其布置在气体流量控制管线上，用于控制所述至少一个气体流量控制管线中的气体的流量；以及(g)至少一个真空泵或排气装置，其流体地连接到所述至少一个气体流量控制管线，在所述背压校准器下游，以使得流向所述真空泵或排气装置的气体经过所述背压校准器。