[发明专利]一种适用于提升氟化钙凹锥镜粗糙度的磁流体加工工具及加工方法有效
| 申请号： | 201610530355.0 | 申请日： | 2016-07-07 |
| 公开（公告）号： | CN106181675B | 公开（公告）日： | 2018-04-03 |
| 发明（设计）人： | 钟显云;李良红;万勇建;吴强;龚艳发 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | B24B13/00 | 分类号： | B24B13/00;B24B13/01 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种适用于提升氟化钙凹锥镜粗糙度的磁流体加工工具及加工方法。该工具主要包括直角法兰盘、电机变向器、直线棒、汝铁硼磁棒、导向杆、基准杆、塑形棒。该发明充分考虑了氟化钙晶体的材料特性及凹锥面异形结构特性，基于磁流体加工技术采用磁流体直线磁力棒对氟化钙凹锥进行均匀磨削，消除氟化钙凹锥面的亚表面破坏层及中高频，提升凹锥面的表面粗糙度。本发明对氟化钙凹锥面的面形、锥角具有较强的控制性，对凹锥面的粗糙度具有较强的提升性，突破了国内现有工艺无法加工氟化钙凹锥异形曲面的技术瓶颈，为我国开展光刻机投影曝光光学系统的研制提供技术保障。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 适用于 提升 氟化钙 凹锥镜 粗糙 流体 加工 工具 方法 | ||
【主权项】：
一种适用于提升氟化钙凹锥镜粗糙度的磁流体加工工具，其特征在于：磁流体加工工具包括直角法兰盘(1)、电机变向器(2)、直线棒(3)、汝铁硼磁棒(4)、导向杆(5)、基准杆(6)和塑形棒(7)；其中：直角法兰盘(1)上端固定于机床铣磨轴基座(8)上，同时，电机变向器(2)固定于直角法兰盘(1)底端，电机变向器(2)转轴与机床铣磨轴(9)连接，即将机床铣磨轴(9)的垂直转向构成水平转向；直线棒(3)为外径12mm、内径8mm的直筒，材料为奥氏不锈钢材料，其安装于电机变向器(2)内孔；磁流体加工工具的导磁性材料为汝铁硼磁棒(4)，磁场强度为1.25‑1.28特斯拉，磁极为磁棒的两端，汝铁硼磁棒(4)嵌入于直线棒(3)内，组合构成直线磁力棒；导向杆(5)表面具有凹滑槽，并通过螺栓安装于电机变向器(2)侧面；基准杆(6)固定于导向杆(5)凹滑槽，可通过移动基准杆(6)来调节塑形棒(7)与直线棒(3)的距离；塑形棒(7)安装固定于基准杆(6)中心孔，并通过螺栓从侧面固定。
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