[发明专利]三维指向稳定系统

摘要

本发明属于光学微观测量技术领域，涉及一种三维指向稳定系统，激光器A后在水平光路上依次安装有棱镜、第一分光棱镜、第二分光棱镜、第三分光棱镜、透镜、样品位移台；棱镜垂直向下分光的光路上安装有激光器B；第一分光棱镜垂直向上分光的光路上安装有激光功率稳定系统；第二分光棱镜垂直向下分光的光路上安装有轴向测量系统；第三分光棱镜垂直向上分光的光路上安装有垂轴测量系统；本发明提供的三维指向稳定系统，在激光光源功率稳定的前提下，将共焦测量技术和四象限探测技术相融合，对比共焦响应曲线和四象限变化指向曲线，实现系统三维漂移监测与方向判断，有效避免了系统本身、空气扰动等环境干扰对测量精度的影响。

主权项

1.三维指向稳定系统，其特征在于，包括激光器A(1)、激光器B(3)、三维样品位移台(9)、激光功率稳定系统(22)、轴向测量系统(24)和垂轴测量系统(23)；激光器A(1)后在水平光路上依次安装有棱镜(2)、第一分光棱镜(4)、第二分光棱镜(16)、第三分光棱镜(10)、透镜(8)、三维样品位移台(9)；棱镜(2)垂直向下分光的光路上安装有激光器B(3)；第一分光棱镜(4)垂直向上分光的光路上安装有激光功率稳定系统(22)；第二分光棱镜(16)垂直向下分光的光路上安装有轴向测量系统(24)；第三分光棱镜(10)垂直向上分光的光路上安装有垂轴测量系统(23)；所述的轴向测量系统(24)包括安装在第二分光棱镜(16)垂直向下分光光路上的第五分光棱镜(17)，第五分光棱镜(17)的两个分光光路上分别安装有第二透镜(18)、第三透镜(20)，第二透镜(18)后安装有第二光电二极管(19)，第三透镜(20)后安装有第三光电二极管(21)；所述的垂轴测量系统(23)包括安装在第三分光棱镜(10)垂直向上分光光路上的第六分光棱镜(11)，第六分光棱镜(11)的两个分光光路上分别安装有第四透镜(14)、第五透镜(12)，第四透镜(14)后安装有四象限探测器A(15)，第五透镜(12)后安装有四象限探测器B(13)。