[发明专利]光谱检测器有效
申请号: | 201610518851.4 | 申请日: | 2016-07-04 |
公开(公告)号: | CN106338341B | 公开(公告)日: | 2019-05-10 |
发明(设计)人: | 湊浩之 | 申请(专利权)人: | 株式会社岛津制作所 |
主分类号: | G01J3/44 | 分类号: | G01J3/44;G01J3/02;G01N21/64 |
代理公司: | 上海市华诚律师事务所 31210 | 代理人: | 徐乐乐 |
地址: | 日本京都府京都*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 提供一种光谱检测器,包括:光源(11),用于产生多色光;单个衍射光栅(13);激发光学系统,用于将来自光源(11)的光引导到衍射光栅(13)上,用于从通过衍射光栅(13)衍射的光中选择一个波长,以及用于将选定波长的光作为激发光投射到样品中;检测光学系统,用于将从被激发光照射的样品发出的观测光引导到衍射光栅(13)上并使观测光色散;以及光电检测器(15),用于检测由检测光学系统色散的观测光。通过在激发光学系统和检测光学系统两者中使用一个衍射光栅(13),减少了衍射光栅的数目,由此实现装置的成本降低以及小型化两者。 | ||
搜索关键词: | 光谱 检测器 | ||
【主权项】:
1.一种光谱检测器,其特征在于,包括:a)光源,用于产生多色光;b)单个衍射光栅;c)激发光学系统,用于将来自所述光源的光引导到所述衍射光栅上,用于从通过所述衍射光栅衍射的光中选择一个波长,以及用于将选定波长的光作为激发光投射到样品中;d)检测光学系统,用于将从被所述激发光照射的样品发出的观测光引导到所述衍射光栅上来使观测光色散;以及e)光电检测器,用于检测由所述检测光学系统色散的所述观测光;其中,在所述衍射光栅上,在所述激发光的入射面和所述观测光的入射面之间有位置差;f)反射镜,配置在所述样品和所述衍射光栅之间的光路上,所述反射镜以如下方式反射观测光:使包含从所述样品发射并被导入至所述衍射光栅中的观测光的光轴和由所述衍射光栅色散并朝向所述光电检测器的观测光的光轴的面,与包含从所述光源导入至所述衍射光栅的光的光轴和从所述衍射光栅照射到样品上的激发光的光轴的面错开。
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