[发明专利]划线的检查方法有效
| 申请号： | 201610518193.9 | 申请日： | 2016-07-04 |
| 公开（公告）号： | CN106468669B | 公开（公告）日： | 2021-02-09 |
| 发明（设计）人： | 岩坪佑磨;曾山浩 | 申请（专利权）人： | 三星钻石工业股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/958 | 分类号： | G01N21/958 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 田喜庆;吴孟秋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及划线的检查方法，用于辨别是否适当地形成有裂纹线。在脆性基板(4)的第一面(SF1)上设有划线(SL)，其具有在第一面(SF1)上的一处位置上沿延伸方向延伸的槽线(TL)。从脆性基板(4)的外部经由第一面(SF1)向脆性基板(4)的第一面(SF1)的一处位置的正下方照射由激光形成的入射光(LI)。入射光(LI)的光轴方向具有以与第一面(SF1)垂直的方向为基准朝向在第一面(SF1)上与延伸方向垂直的方向的倾斜分量。通过裂纹线(CL)反射入射光(LI)，产生朝向第二面(SF2)的反射光(LR)。通过反射反射光(LR)，产生从第二面(SF2)经由第一面(SF1)而朝向脆性基板(4)之外的出射光(LO)。测定出射光(LO)的强度。 | ||
| 搜索关键词： | 划线 检查 方法 | ||
【主权项】：
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