[发明专利]物理量传感器、电子设备以及移动体在审
| 申请号： | 201610514596.6 | 申请日： | 2016-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN106338297A | 公开（公告）日： | 2017-01-18 |
| 发明（设计）人： | 田中悟;木暮翔太 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G01D5/24 | 分类号： | G01D5/24;G01P15/125;G01P3/44 |
| 代理公司： | 北京金信知识产权代理有限公司11225 | 代理人： | 苏萌萌,范文萍 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种具有优异的特性的物理量传感器，并提供一种具备该物理量传感器的电子设备及移动体。本发明的物理量传感器(1)具备可动质量部(32)，其具有具有与第一固定电极部(213a)对置的部分的第一可动电极部(322a)；以及具有与第二固定电极部(213b)对置的部分的第二可动电极部(322b)，可动质量部(32)在俯视观察时呈包围第一固定电极侧固定部(21a)及第二固定电极侧固定部(21b)的形状；第一可动电极侧固定部(31a)以及第二可动电极侧固定部(31b)，它们经由第一弹性部(33a)以及第二弹性部(33b)而对可动质量部(32)进行支承，并且在俯视观察时被配置在可动质量部(32)的外侧。 | ||
| 搜索关键词： | 物理量 传感器 电子设备 以及 移动 | ||
【主权项】：
一种物理量传感器，其特征在于，具备：第一固定电极侧固定部，其具有第一固定电极部；第二固定电极侧固定部，其具有第二固定电极部；可动质量部，其具有第一可动电极部以及第二可动电极部，所述第一可动电极部具有与所述第一固定电极部对置的部分，所述第二可动电极部具有与所述第二固定电极部对置的部分，所述可动质量部在俯视观察时呈包围所述第一固定电极侧固定部以及所述第二固定电极侧固定部的形状；第一可动电极侧固定部以及第二可动电极侧固定部，所述第一可动电极侧固定部以及所述第二可动电极侧固定部在俯视观察时被配置在所述可动质量部的外侧；第一弹性部，其以能够使所述可动质量部在第一方向上进行位移的方式而对所述第一可动电极侧固定部与所述可动质量部的所述第一方向上的一端侧的部分进行连接；第二弹性部，其以能够使所述可动质量部在所述第一方向上进行位移的方式而对所述第二可动电极侧固定部与所述可动质量部的所述第一方向上的另一端侧的部分进行连接。
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