[发明专利]用于制造微机械结构的方法以及具有该微机械结构的元件在审
| 申请号： | 201610481536.9 | 申请日： | 2016-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN106276780A | 公开（公告）日： | 2017-01-04 |
| 发明（设计）人： | U·汉森;S·舒勒·瓦特金斯 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;B81B3/00;B81B7/02;G01D11/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司72002 | 代理人： | 侯鸣慧 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 根据本发明涉及一种用于制造微机械元件的方法以及用此方法制造的微机械元件。所述微机械元件具有传感器衬底和安装在传感器衬底上的罩。为了制造该罩，在罩衬底的正面的表面上在一个被限制的区域设置多个开口，例如呈微孔的形式(直径几微米)。在制造这些开口时应注意，开口在罩衬底内终止，即不完全穿过罩衬底并具有较小的深度。然后将如此加工的罩衬底安装在传感器衬底上，其中，带有多个开口的罩衬底正面朝向传感器衬底。然后将罩衬底的一部分从背面去除，例如通过从背面减薄、磨削工艺或者其他适合于此的半导体工艺。通过从背面去除罩衬底材料来产生通向所述开口的进入口。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 制造 微机 结构 方法 以及 具有 元件 | ||
【主权项】：
用于制造微机械元件的方法，其中，所述微机械元件具有传感器衬底(240)和罩(270)，该方法具有以下步骤：·在罩衬底(200)的正面(300)的表面中的至少一个被限制的区域(280)中产生(120)多个开口(220)，其中设置为，所述开口(220)比所述罩衬底(200)具有较小的深度，并且·将罩衬底(210)安装(160)到所述传感器衬底(240)上，其中，所述罩衬底(210)的具有所述多个开口(220)的正面(300)对着所述传感器衬底(240)，并且·去除(180)所述罩衬底(210)的背面(310)的一部分，以露出所述开口(220)并形成所述罩(270)。
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