[发明专利]一种准分子激光器高纯工作气体配送系统及方法

摘要

本发明公开了一种准分子激光器高纯工作气体配送系统及方法，用于激光器系统用多种高纯气体的供应，该系统具有包括多路进气口的多路进气通道，用于实现对一个或多个放电腔的注气，还具有排气通道，用于实现对一个或多个放电腔的排气。本发明还公开了一种采用四路进气、两路输出到放电腔的准分子激光器高纯工作气体配送系统，其根据工作气体的种类适当调整进气路数以满足不同气体的配置。根据激光器可能采用单腔或者双腔的结构特点，通过调整气体输送系统输出到放电腔的路数进行控制，可以满足不同结构特点激光器的需要。

主权项

1.一种准分子激光器高纯工作气体配送系统，用于激光器系统用多种高纯气体的供应，该系统具有排气通道和包括多路进气口的多路进气通道，用于实现对一个放电腔的注气和排气，或对多个放电腔的注气和排气；所述系统包括第一进气口(01)、第二进气口(02)、第三进气口(03)、第四进气口(04)、第一放电腔、第二放电腔，排气口(00)，其中，第一进气通道包括：第一进气口(01)顺次连接第一手动隔膜阀(C1)、第一单向阀(D1)、第一气动隔膜阀(A1)、第一多通气动阀(B1)，通过第一质量流量计、第五单向阀(D5)、第五气动隔膜阀(A5)、第五手动隔膜阀(C5)、第九气动隔膜阀(A9)、第七手动隔膜阀(C7)连接至第一放电腔，在第一多通气动阀(B1)后通过第二质量流量计、第六单向阀(D6)、第六气动隔膜阀(A6)、第六手动隔膜阀(C6)、第十气动隔膜阀(A10)、第八手动隔膜阀(C8)连接至第二放电腔，排气通道包括：第一放电腔内的气体依次通过第七手动隔膜阀(C7)、第九气动隔膜阀(A9)、第五手动隔膜阀(C5)、第七单向阀(D7)、第七气动隔膜阀(A7)、第九手动隔膜阀(C9)、尾气处理装置(F)、过滤器(G)、第十一气动隔膜阀(A11)或第十二气动隔膜阀(A12)或第九单向阀(D9)，连接至排气口(00)，第二放电腔内的气体依次通过第八手动隔膜阀(C8)、第十气动隔膜阀(A10)、第六手动隔膜阀(C6)、第八单向阀(D8)、第八气动隔膜阀(A8)、第九手动隔膜阀(C9)、尾气处理装置(F)、过滤器(G)、第十一气动隔膜阀(A11)或第十二气动隔膜阀(A12)或第九单向阀(D9)，连接至排气口(00)，所述高纯气体包括Ar、Kr、Xe、Ne、F2、Cl2或其混合气。