[发明专利]一种采用环形光栅的焦距检测装置及方法

摘要

本发明公开了一种采用环形光栅的焦距检测装置及方法，该装置包括共光轴顺次设置的激光器、准直扩束物镜、待测系统、第一光栅、第二光栅、接收屏、成像物镜、CCD；方法为：由激光器发出的激光由光纤导出，经过准直扩束物镜，得到一束均匀的平行光，此时未放入待测系统；平行光入射时，观察接收屏上形成的干涉条纹，使用CCD采集该干涉条纹，调整第二光栅的对准线与第一光栅的栅线平行，此时采集到的干涉条纹记为干涉条纹L1；放入待测系统，通过CCD再次采集干涉条纹，记为干涉条纹L2；通过频域亚像素迭代法求出干涉条纹L1和干涉条纹L2的夹角，即可得被测系统的焦距。本发明结构简单、精度高、易于实现，可以用于中等焦距系统的精确测量。

主权项

1.一种采用环形光栅的焦距检测装置，其特征在于，包括共光轴顺次设置的激光器(1)、准直扩束物镜(2)、待测系统(3)、第一光栅(4)、第二光栅(5)、接收屏(6)、成像物镜(7)、CCD(8)；所述激光器(1)发出的激光经过准直扩束物镜(2)产生一束平行光，该平行光入射到待测系统(3)上，再经过第一光栅(4)后在第二光栅(5)处形成干涉条纹，干涉条纹被接收屏(6)接收，成像物镜(7)将条纹成像到CCD(8)的焦平面上；所述第一光栅(4)采用圆形直线光栅，第二光栅(5)采用环形光栅，且环形光栅具有圆形直线光栅区域和环形对准线区域。