[发明专利]一种宽带温度不敏感的光波导器件

摘要

本发明公开了一种宽带温度不敏感的光波导器件，包括相互层叠的芯区和包层，所述芯区采用硅，所述包层采用二氧化钛，所述包层的另一面设有覆盖层，所述覆盖层采用正热光系数的材料，光波导中每层结构的光强限制因子受波长的影响，波长变大后，光在光波导内传输的倏逝场变大，相应地在包层中的光强限制因子也变大；因此对应不同的波长，每一层的光强限制因子将发生变化，随波长的变大，光波导总的热光系数不再是随温度单调的变化，变成类似抛物线变化的曲线，能够实现宽波长范围的温度不敏感。

主权项

一种宽带温度不敏感的光波导器件，包括相互层叠的芯区和包层，所述芯区采用硅，所述包层采用二氧化钛，其特征在于，所述包层的另一面设有覆盖层，所述覆盖层采用正热光系数的材料，整个光波导的热光系数表达式为：dneffdT=Γc(λ)dncdT(λ)+Γcl1(λ)dncl1dT(λ)+Γcl2(λ)dncl2dT(λ)---(1)]]>式(1)的等式右边：第一项的系数Γc(λ)为芯区材料的光强限制因子，为硅的热光系数；第二项的系数Γcl1(λ)为包层材料的光强限制因子，为二氧化钛的热光系数；第三项的系数Γcl2(λ)为覆盖层材料的光强限制因子，为覆盖层材料的热光系数；光波导中芯区材料、包层材料和覆盖层材料的光强限制因子是指：在光波导横截面上芯区、包层和覆盖层每一个区域中电场强度平方的面积积分占总电场平方的比率ΓA：ΓA＝∫∫A|E|2dxdy/∫∫∞|E|2dxdy       (2)式(2)中，E是电场强度，A是所指区域。