[发明专利]一种宽带温度不敏感的光波导器件

权利要求书

1.一种宽带温度不敏感的光波导器件，包括相互层叠的芯区和包层，所述芯区采用硅，所述包层采用二氧化钛；所述包层的另一面设有覆盖层，所述覆盖层采用正热光系数的材料，整个光波导的热光系数表达式为：

式（1）的等式右边：

第一项的系数 为芯区材料的光强限制因子， 为硅的热光系数；

第二项的系数 为包层材料的光强限制因子， 为二氧化钛的热光系数；

第三项的系数为覆盖层材料的光强限制因子，为覆盖层材料的热光系数；

光波导中芯区材料、包层材料和覆盖层材料的光强限制因子是指：在光波导横截面上芯区、包层和覆盖层每一个区域中电场强度平方的面积积分占总电场平方的比率：

（2）

式（2）中，E是电场强度，A是所指区域；

其特征在于：

针对覆盖层是氮化硅材料、且氮化硅高度为500nm，光波导的宽度为500 nm，芯区和包层的高度有以下情形之一：

芯区的高度为140nm，包层的高度为136nm；

芯区的高度为150nm，包层的高度为160nm；

芯区的高度为160nm，包层的高度为190nm。

2.根据权利要求1所述宽带温度不敏感的光波导器件，其特征在于，所述硅的热光系数为，二氧化钛的热光系数为，氮化硅的热光系数为。