[发明专利]一种用于LTCC基板的玻璃包覆铜浆的制备方法有效
申请号: | 201610409002.5 | 申请日: | 2016-06-08 |
公开(公告)号: | CN105957641B | 公开(公告)日: | 2017-11-28 |
发明(设计)人: | 杨德安;董青;黄超;翟通 | 申请(专利权)人: | 天津大学 |
主分类号: | H01B13/00 | 分类号: | H01B13/00 |
代理公司: | 天津市北洋有限责任专利代理事务所12201 | 代理人: | 张宏祥 |
地址: | 300072*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | 本发明公开了一种用于LTCC基板的玻璃包覆铜浆的制备方法,先用盐酸‑丙酮预处理铜粉;再用溶胶凝胶法制备玻璃溶胶;再采用溶胶凝胶法将玻璃包覆铜粉表面;另制备有机载体。最后将玻璃包覆铜粉和有机载体按配方比例混合得到铜浆,丝网印刷于LTCC基片上,在氮气气氛炉中880‑910℃烧结,得到玻璃包覆铜浆/LTCC复合基板。本发明中1wt%玻璃包覆铜粉制备的铜浆在910℃下烧结60min后,铜膜结构致密,导电性能优异,方阻仅为1.9mΩ/□;本发明中玻璃均匀包覆铜粉,制备流程工艺简单,有效的降低了生产成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 ltcc 玻璃 包覆铜浆 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种用于LTCC基板的玻璃包覆铜浆的制备方法,具有以下步骤:(1)用盐酸‑丙酮预处理铜粉将铜粉放入稀盐酸溶液中,30℃下电磁搅拌10‑20min,静置倒掉上清液;再将30mL丙酮倒入其中,于60℃电磁搅拌10‑30min,静置倒掉上清液;最后用丙酮清洗铜粉三次,放入烘箱中70℃干燥1h,得到预处理铜粉;所述铜粉为类球形,直径为1‑2μm;(2)用溶胶凝胶法制备玻璃溶胶制备溶液A:将0.037‑0.37mlTEOS即正硅酸乙酯溶解于5ml乙醇中,然后加入0.01‑0.12ml蒸馏水,加入0.3‑3ml乙酸,于25℃电磁搅拌30‑60min,使TEOS充分预水解,得到澄清的TEOS预水解液;制备溶液B:将0.027‑0.27g硼酸、0.0167‑0.167g乙酸钡和0.04‑0.405g乙酸锌分别溶于19ml乙醇和1.2‑6ml蒸馏水中电磁搅拌使其溶解,得到澄清无机溶液B;将制得的溶液A和溶液B全部混合,于60℃下磁力搅拌1h,得到澄清玻璃溶胶C;(3)溶胶凝胶制备玻璃包覆铜粉将步骤(2)中所述玻璃溶胶C全部倒入5g步骤(1)处理好的铜粉中,在60℃下电磁搅拌1‑3h,进行溶胶包覆;再将液体升温到70‑90℃蒸发浓缩使溶液变成有流动性的稠浆,倒入培养皿,于70℃干燥1h,得到玻璃包覆铜粉;(4)制备有机载体称取松油醇83‑87wt%、乙基纤维素1‑6wt%、聚乙二醇4‑5wt%、邻苯二甲酸二丁酯4‑6wt%和蓖麻油1‑3wt%,将其在90‑100℃水浴搅拌1‑3h直至溶液变澄清,静置24h备用;(5)配制用于LTCC基板的玻璃包覆铜浆将步骤(3)的玻璃包覆铜粉与步骤(4)的有机载体按质量比70‑80:30‑20混合,研磨后丝网印刷于LTCC即低温共烧陶瓷基板上,室温流平,90‑100℃干燥,在氮气气氛炉中于880‑910℃烧结,保温60min,自然冷却至室温,制得玻璃包覆铜浆/LTCC复合基板。
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