[发明专利]一种用于管式单晶生长炉的观察窗有效
申请号: | 201610405379.3 | 申请日: | 2016-06-08 |
公开(公告)号: | CN105926031B | 公开(公告)日: | 2018-11-09 |
发明(设计)人: | 康彬;袁泽锐;唐明静;张羽;窦云巍;陈莹;方攀 | 申请(专利权)人: | 中国工程物理研究院化工材料研究所;四川省新材料研究中心 |
主分类号: | C30B11/00 | 分类号: | C30B11/00 |
代理公司: | 四川省成都市天策商标专利事务所 51213 | 代理人: | 刘兴亮 |
地址: | 621000*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明公开了一种用于管式单晶生长炉的观察窗。它包括套筒,透明石英片,石英放大镜,卡筒和盖套;所述套筒内间隔设置多个透明石英片,所述套筒内最下面的透明石英片设置在套筒内的底部,所述相邻透明石英片之间设置卡筒;所述套筒内的顶部设置有石英放大镜,所述套筒内最上面的透明石英片与石英放大镜之间设置有卡筒;所述盖套设置在套筒的上方用以将石英放大镜和套筒内的内部元件封闭以防滑落。本发明的观察窗结构具有安装方便,拆卸容易的特点;由于空气的导热性很差,因此该观察窗的结构具有更好的保温效果,对炉内径向温场的影响也更小;本发明的观察窗在一定程度上可以起到对径向温场的调节作用,具有更大的操作空间。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 管式单晶 生长 观察窗 | ||
【主权项】:
1.一种用于管式单晶生长炉的观察窗,其特征在于它包括套筒(1),透明石英片(2),石英放大镜(3),卡筒(4)和盖套(5);所述套筒(1)内间隔设置多个透明石英片(2),所述套筒(1)内最下面的透明石英片设置在套筒内的底部,相邻透明石英片(2)之间设置有卡筒(4);所述套筒内的顶部设置有石英放大镜(3),所述套筒(1)内最上面的透明石英片(2)与石英放大镜(3)之间设置有卡筒(4);所述盖套(5)设置在套筒(1)的上方用以将石英放大镜和套筒内的内部元件封闭以防滑落;所述套筒(1)为底部带有内卡环(6),顶部带有外卡环(7)的圆柱形筒;所述套筒的外径与管式单晶生长炉炉体壁面观察窗的内径一致;所述套筒的长度与管式单晶生长炉炉体保温材料的厚度相同;所述透明石英片(2)是厚度为1~2mm的圆形薄片,所述透明石英片(2)的直径与套筒(1)的内径相等;所述透明石英片(2)中的一个或多个表面进行镀金处理;所述套筒(1)、卡筒(4)和盖套(5)均是采用异型保温材料制备而成,异型保温材料是指通过注浆成型或其他方式制成的形状与炉体结构相符的保温材料。
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