[发明专利]磁场测量设备

摘要

一种磁场测量设备，其具有第一半导体主体，所述第一半导体主体具有构造在第一x‑y平面内的表面，其中，所述第一半导体主体在所述表面上具有两个彼此间隔开的并且沿着第一连接直线布置的磁场传感器，其中，所述磁场传感器分别测量磁场的z分量，其中，x方向和y方向和z方向分别彼此正交地构造，所述磁场测量设备还具有第一磁体，所述第一磁体具有构造在第二x‑y平面内的平坦的主延伸面并且具有构造在y‑z平面内的对称面，其中，磁化方向与所述主延伸面基本上或精确平行并且与所述对称面基本上或精确平行，所述第一半导体主体和所述第一磁体彼此刚性地固定，所述第一半导体主体相对于所述第一磁体在所述x‑y平面内平移错位地布置，其中，在所述第一x‑y平面与所述第二x‑y平面之间的、构造在z方向上的错位小于所述第一磁体的构造在z方向上的厚度，其中，两个磁场传感器在x‑z平面内彼此间隔开并且在所述x‑z平面内沿着北极的延伸布置或沿着南极的延伸布置，其中，在所述第一磁体的磁场的z分量关于所述对称面不对称的情况下，所述磁场传感器形成彼此不同的信号，以便差动测量所述信号。

主权项

1.一种磁场测量设备(10)，所述磁场测量设备(10)具有：第一半导体主体(20)，所述第一半导体主体(20)具有构造在第一x‑y平面内的表面作为上侧，其中，所述第一半导体主体(20)在所述表面上具有两个彼此间隔开的并且沿着第一连接直线布置的磁场传感器(30，40)，其中，x方向和y方向和z方向分别彼此正交地构造，第一磁体(50)，所述第一磁体(50)具有构造在第二x‑y平面内的平坦的上侧并且具有构造在y‑z平面内的对称面(58)，其中，磁化方向与所述上侧基本上或精确平行并且与所述对称面(58)基本上或精确平行，所述第一半导体主体(20)和所述第一磁体(50)彼此刚性地固定，所述第一半导体主体(20)相对于所述第一磁体(50)在x‑y平面内平移错位地布置，其中，在所述第一x‑y平面与所述第二x‑y平面之间的构造在z方向上的错位小于所述第一磁体(50)的构造在z方向上的厚度，所述磁体(50)的构造在z方向上的厚度从所述磁体的构造在第二x‑y平面中的上侧朝所述第一x‑y平面延伸超出所述第一x‑y平面，两个磁场传感器(30，40)在x‑z平面内彼此间隔开并且在所述x‑z平面内沿着北极(N)的延伸布置或沿着南极(S)的延伸布置，其特征在于，构造在所述第二x‑y平面内的平坦的上侧是所述磁体(50)的主延伸面(55)，所述磁场传感器(30，40)分别测量磁场的z分量，在所述第一磁体(50)的磁场的z分量关于所述对称面(58)不对称的情况下，所述磁场传感器(30，40)形成彼此不同的信号，以便差动测量所述信号，所述磁场传感器(30，40)的所述x‑y平面布置在所述第一磁体(50)的厚度的一半处。