[发明专利]基于白光干涉术的测试系统及其测试方法在审
| 申请号： | 201610401870.9 | 申请日： | 2016-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN106017349A | 公开（公告）日： | 2016-10-12 |
| 发明（设计）人： | 邵杨锋;魏佳斯;李源;蔡潇雨;雷李华;傅云霞;李东升 | 申请（专利权）人： | 中国计量大学;上海市计量测试技术研究院 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 上海浦东良风专利代理有限责任公司 31113 | 代理人： | 陈志良 |
| 地址： | 310018 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明为一种基于白光干涉术的测试系统及其测试方法，其特征在于：所述的测试系统包括显微光学系统、数字CCD摄像机、图像采集卡、干涉系统、压电陶瓷、压电陶瓷控制器、气浮平台、白光卤素光源和PC机。本发明的测试方法通过PC机操作压电陶瓷控制器控制压电陶瓷带动被测样品进行垂直扫描，使干涉条纹扫过被测区域，并由数字CCD摄像机记录采集的图像；PC机对采集的图像滤波后提取单个像素点的白光干涉信号，减去得到的白光干涉条纹的背景光强值，对各像素点的光强进行时域到频域的转换，在频域内做分解，得到波数和相位的关系；通过综合干涉信号频域内波数与相位信息从而得到零光程差的位置，实现表面高度信息的提取。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 白光 干涉 测试 系统 及其 方法 | ||
【主权项】：
一种基于白光干涉术的测试系统，包括显微光学系统、数字CCD摄像机、图像采集卡、干涉系统、压电陶瓷、与压电陶瓷相连的压电陶瓷控制器和气浮平台，其特征在于：所述的测试系统还包括向显微光学系统提供光源的白光卤素光源和PC机；所述的PC机通过图像采集卡与数字CCD摄像机相连接，PC机还通过USB与控制压电陶瓷运动的压电陶瓷控制器连接；所述的压电陶瓷设置在气浮平台上；所述干涉系统的输入端对应于放置在压电陶瓷上的被测样品。
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