[发明专利]锚型三维立体蚀刻方法在审
| 申请号： | 201610396243.0 | 申请日： | 2016-06-07 |
| 公开（公告）号： | CN105887086A | 公开（公告）日： | 2016-08-24 |
| 发明（设计）人： | 黄琦;鲍量;黄强 | 申请（专利权）人： | 共青城超群科技协同创新股份有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/02 | 分类号： | C23F1/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 332020 江西省九江市共*** | 国省代码： | 江西;36 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开一种锚型三维立体蚀刻方法，包括以下步骤：(1)前处理、（2）抗氧化处理、(3)压膜、（4）菲林对位、（5）曝光、（6）显影、（7）蚀刻、（8）退膜。本发明可用于生产高精度图形的金属板，可蚀刻出带有图形的铜板，可用于LED金属基板制作，在蚀刻使作了抗氧化剂层处理，更好的保护了金属板。 | ||
| 搜索关键词： | 三维立体 蚀刻 方法 | ||
【主权项】：
一种锚型三维立体蚀刻方法，其特征在于包括以下步骤：前处理：首先对开料后的金属板进行除油处理，然后用纯水清洗干净；抗氧化处理：在金属板的上下两层表面涂覆抗氧化剂层，然后烘干；压膜：使用真空压膜机在涂有抗氧化剂层的金属板表面成形感光干膜；菲林对位：根据设计图形进行双面菲林对位;曝光：采用平行曝光机进行曝光；显影：化学显影曝光后的感光干膜，露出待蚀刻的图形；蚀刻：蚀刻深度为板厚的一半；退膜：感光干膜全部退掉，并清除抗氧化剂层，最后清洗得到具有半蚀刻图形的金属板。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于共青城超群科技协同创新股份有限公司，未经共青城超群科技协同创新股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610396243.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种文件拍摄装置的支架
- 下一篇：管道行走机器人
