[发明专利]用于静电放电电流波形检测的测试板在审
申请号: | 201610392043.8 | 申请日: | 2016-06-06 |
公开(公告)号: | CN107462759A | 公开(公告)日: | 2017-12-12 |
发明(设计)人: | 陆宇;陈昭;程玉华 | 申请(专利权)人: | 上海北京大学微电子研究院 |
主分类号: | G01R19/00 | 分类号: | G01R19/00;G01R19/04 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 201203 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明提出用于CDM(Charged Device Model)模型ESD电流波形检测的测试板结构,以有效捕捉与国际上通用测试规范中典型波形一致的放电电流波形。该结构包括用于直接接触放电器件的pogo(弹簧单高跷)探针,用于滤除高频干扰的滤波器,用于减小电流峰值方便测试的衰减器,用于转换电流信号的测试电阻以及用于连接所有部分的接地板。所述滤波器和衰减器位于所述接地板上,接地板接金属插座,用以连接示波器。所述接地板含有固定作用的结构,用于与测试系统的其他部分连接。 | ||
搜索关键词: | 用于 静电 放电 电流 波形 检测 测试 | ||
【主权项】:
用于静电放电电流波形检测的测试板结构,其特征在于,包括:可以用作电容器的材料制成的测试板,所述测试板承载了包含测试探针6、滤波器2、衰减器3、固定装置1、同轴电缆连接插座4、测试电阻7、接地孔8;所述滤波器2一端直接与测试探针6相连,另一端与衰减器3的一端连接;衰减器3另一端与并联后的测试电阻7相接;测试电阻7中的电阻为并联关系,一端同时与衰减器3相连,另一端分别通过接地孔8接地;并联的测试电阻7与衰减器3相连端同时引出到测试板边缘,焊接一个同轴电缆连接插座4;所述测试板5的尺寸根据所用的测试设备大小不同可以适当调整;制作所述测试板5的材料必须均匀性一致,且表面没有明显磨损。
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