[发明专利]用于静电放电电流波形检测的测试板

说明书

技术领域

本发明涉及集成电路领域，尤其涉及关于静电放电（ESD，Electro-Static discharge）测试中的带电器件模型（CDM，Charged Device Model）静电放电电流波形检测的测试板结构。

背景技术

随着技术发展，集成电路元器件越来越趋于微型化和复杂化，通常一个小的器件内包含的晶体管等半导体器件的数目达到百万级别。由于器件内的晶体管密度极高，因此一个小的损伤就有可能导致整个器件的报废。在器件可能遇到的多种静电损伤中，CDM模型尤其值得注意，不仅因为其放电速度快，常常使得保护电路来不及导通，无法起到保护作用，还因为目前针对CDM模型ESD电流波形的检测尚没有一个很健全的测试结构。目前，在各种常见的ESD放电模型中，HBM(Human Body Model)和MM(Machine Model）都具有自己对应的较为成熟的检测机制，但是CDM模型检测相比于上述两种模型，仍处于较为落后的阶段，还没有较为成熟的检测机制。且对于实际情况而言，CDM模型的失效情况极为普遍，因此对CDM模型所做的ESD防护是极为必要的。由此， CDM模型的检测尤为重要。

目前虽然已经有了国际通用的测试规范，并且国外的某些公司已经生产出相关的检测设备，可以进行完整的检测，但国内在该领域还属于空白阶段，所采用的设备都是从国外进口的。并且，无论哪个公司生产的设备，都是按照类似的流程来进行的，无较大差别。

随着国内外对ESD静电防护的重视程度越来越高，其中的CDM相关测试也是日益受到更加强烈的关注。其中，如何正确抓取理想的波形，以及在显示时如何去除寄生参数对测试结果的影响已经成为了能否正确完成CDM测试的重要因素。

基于下述考虑，CDM模型ESD电流波形检测时用到的测试板受到业界的广泛关注：

1，CDM模型ESD电流波形在抓取过程中涉及到的因素很多，任何一种因素没有考虑到都有可能导致无法准确抓取波形。从材料的选择到模块的搭配，所用的测试板需要进行仔细的设计；

2，测试过程中，无法在理想的环境下进行全部过程。整个测试过程由于是在高频条件下测试，因此低频下无需考虑的寄生参数影响在高频测试下变成测试时干扰来源的重要因素；

3，由于测试时不仅仅使用测试板，还要用到其他配套设备，例如示波器、同轴电缆等器材，因此如何将测试板与其他配套设备进行有机连接且将对测试结果的影响降到最低是必须考虑的。由于测试信号为高频信号，任何不良接触或者器材的位置不合适都会对测试结果产生很大影响。

4，目前采用的CDM测试系统的配套设备都是量产的，成本高，不适用于小公司或者实验室的少量测试。如何在保证测量精度的情况下降低成本是急需解决的问题。在解决这一问题的过程中，测试板又是整个测试系统的核心部件。

目前业界存在的测试设备都是已经工业化批量生产的，按照国际通用的测试规范进行相关的检测，但上述设备存在如下问题：

1，成本高。在实际环境中，干扰可能来自于各个地方，要做到无干扰，必须要做到全方位的保护，从干扰源到传输路径所有部分都必须加以保护，这在保证了结果准确性的同时也大大增加了成本；

2，目前存在的工业测试设备由于造价昂贵，不可能经常更换部件，因此其测试范围有限，且一旦损坏，要花费大量的人力物力财力进行维修，不够灵活。

3，目前的测试设备没有专门用于解决寄生参数影响的配套结构，使得测试出的结果很容易受到寄生参数影响。

4，目前的测试设备可塑性较差，无法根据测试需求进行灵活修改。

发明内容

为了解决上述问题，本发明提出了一种用于静电放电电流波形检测的测试板结构，包括：可以用作电容器的材料制成的测试板，所述测试板承载了包含测试探针6、滤波器2、衰减器3、固定装置1、同轴电缆连接插座4、测试电阻7、接地孔8。所述滤波器2一端直接与测试探针6相连，另一端与衰减器3的一端连接。衰减器3另一端与并联后的测试电阻7相接。测试电阻7中的电阻为并联关系，一端同时与衰减器3相连，另一端分别通过接地孔8接地。并联的测试电阻7与衰减器3相连端同时引出到测试板边缘，焊接一个同轴电缆连接插座4。所述测试板5的尺寸根据所用的测试设备大小不同可以适当调整。制作所述测试板5的材料必须均匀性一致，且表面没有明显磨损。2、如权利要求1所述的结构，其特征在于，所述滤波器2利用微带线构成，，根据需要的中心频率值调整微带线的尺寸以获得合适的滤波器。