[发明专利]非对称菱形铰链正交驱动型压电粘滑直线马达及其复合激励方法

摘要

一种非对称菱形铰链正交驱动型压电粘滑直线马达及其复合激励方法，以解决当前压电粘滑直线马达由于摩擦力综合调控困难所导致的输出机械性能受限等问题。本发明由加载平台、定子和动子组成；所述定子利用非对称菱形运动转换器产生侧向位移，增大了摩擦驱动力，减小了摩擦阻力，所产生的侧向运动通过定子驱动足驱动动子运动；同时将摩擦调控波耦合叠加于定子快速变形阶段的锯齿驱动波中，降低快速变形阶段定、动子间摩擦阻力，降低位移回带率，显著提升压电粘滑直线马达的机械输出特性。本发明因具有结构紧凑、定位精度高等优点，在微纳操作、半导体加工以及精密光学仪器等具有结构微型化、定位精度要求高的领域中具有很好的应用前景。

主权项

一种非对称菱形铰链正交驱动型压电粘滑直线马达，该非对称菱形铰链正交驱动型压电粘滑直线马达由加载平台（1）、定子（2）和动子（3）组成；所述定子（2）固定安装在加载平台（1）上，动子（3）固定安装在加载平台（1）上；其特征在于加载平台（1）由基座（1‑1）、上滑台（1‑2）和手动调节螺杆（1‑3）组成；所述基座（1‑1）设置动子安装孔（1‑1‑1）、动子安装平面（1‑1‑8），通过动子安装孔（1‑1‑1）将动子（3）安装在动子安装平面（1‑1‑8）上，基座（1‑1）底部设置有基座安装孔（1‑1‑2），通过螺纹连接可实现基座（1‑1）与外围装置的固定安装，基座（1‑1）设置有导向架限位螺钉（1‑1‑3），用于上滑台（1‑2）的移动限位，基座（1‑1）设置有滚珠架（1‑1‑4），用于上滑台（1‑2）的移动导向，基座（1‑1）设置有滑板紧固螺钉（1‑1‑5）、止动螺钉滑板（1‑1‑6）和止动螺钉（1‑1‑7），止动螺钉（1‑1‑7）和止动螺钉滑板（1‑1‑6）采用螺纹连接，通过调节止动螺钉（1‑1‑7）实现上滑台（1‑2）的固定，所述基座（1‑1）设置有导向架（1‑1‑9），导向架（1‑1‑9）安装有导向架限位螺钉（1‑1‑3），基座（1‑1）设置有弹簧（1‑1‑10）和下弹簧固定柱（1‑1‑11），弹簧（1‑1‑10）的一端通过下弹簧固定柱（1‑1‑11）连接在基座（1‑1）上，基座（1‑1）设置有手动调节螺杆安装孔（1‑1‑12），其与手动调节螺杆（1‑3）进行螺纹连接；所述上滑台（1‑2）设置有定子安装孔（1‑2‑1），上滑台（1‑2）设置有滑台限位螺钉（1‑2‑2），上滑台（1‑2）设置有上弹簧固定柱（1‑2‑3），上滑台（1‑2）侧面设置有止动螺钉安装孔（1‑2‑4），止动螺钉安装孔（1‑2‑4）与止动螺钉（1‑1‑7）螺纹连接，上滑台（1‑2）设置有导向滑杆（1‑2‑5），导向滑杆（1‑2‑5）安装有滑台限位螺钉（1‑2‑2）；所述手动调节螺杆（1‑3）与手动调节螺杆安装孔（1‑1‑12）采用螺纹连接。