[发明专利]一种基于太赫兹波的检测系统在审
申请号: | 201610386012.1 | 申请日: | 2016-06-03 |
公开(公告)号: | CN107462545A | 公开(公告)日: | 2017-12-12 |
发明(设计)人: | 柳鹏;陈丕瑾;李宗谦;雷有华;张春海;周段亮;范守善 | 申请(专利权)人: | 清华大学;鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 |
主分类号: | G01N21/3586 | 分类号: | G01N21/3586;G01J3/02 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 100084 北京市海淀区清*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明涉及一种检测设备,其包括一太赫兹波发射源,一探测器,以及一分别与该太赫兹波发射源和探测器连接的控制电脑;所述太赫兹波发射源包括一太赫兹反射速调管,其中,所述太赫兹反射速调管包括一电子发射单元、一谐振单元、一输出单元,所述电子发射单元用于发射电子;所述谐振单元包括一谐振腔体,该谐振腔体与所述电子发射单元相通,该电子发射单元发射的电子进入所述谐振腔体,所述谐振腔体与所述电子发射单元相对的腔体壁具有一耦合输出孔,所述输出单元通过所述耦合输出孔与所述谐振单元相通,所述谐振单元中产生的太赫兹波通过所述耦合输出孔传输到所述输出单元。 | ||
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【主权项】:
一种基于太赫兹波的检测设备,其包括:一太赫兹波发射源,一探测器,以及一分别与该太赫兹波发射源和探测器连接的控制电脑;所述太赫兹波发射源包括一太赫兹反射速调管,其特征在于,所述太赫兹反射速调管包括:一电子发射单元、一谐振单元和一输出单元,所述电子发射单元用于发射电子;所述谐振单元包括一谐振腔体,该谐振腔体与所述电子发射单元相通,该电子发射单元发射的电子进入所述谐振腔体,所述谐振腔体与所述电子发射单元相对的腔体壁具有一耦合输出孔,所述输出单元通过所述耦合输出孔与所述谐振单元相通,所述谐振单元中产生的太赫兹波通过所述耦合输出孔传输到所述输出单元。
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